特許権 レジスト用重合体組成物、レジスト組成物、およびパターンが形成された基板の製造方法 国立大学法人東北大学、三菱レイヨン株式会社 寒川誠二, 安田敦, 加藤 圭輔, 前田 晋一, 百瀬 陽 出願番号 特願2010-056768 出願日 2010年3月12日 公開番号 特開2011-191448 公開日 2011年9月29日
