産業財産権

特許権

Method of measuring resistivity of sidewall of contact hole

  • Youichi Yatagai
    • ,
  • Shinji Kawada
    • ,
  • Seiji Samukawa
出願番号
12/546745
出願日
2009年8月25日
特許番号/登録番号
US Patent-7923268
登録日
発行日
2011年4月12日
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