永井久雄 (Hisao Nagai) - マイポータル - researchmap

基本情報

所属: 名古屋大学大学院（院生）大学院学生（博士課程）

学位: 工学修士(名城大学)

J-GLOBAL ID: 200901084940804350
researchmap会員ID: 1000314110

研究キーワード

2

研究分野

1

ナノテク・材料 / 薄膜、表面界面物性 /

学歴

2

- 1999年

名城大学, 工学研究科, 電気電子工学
- 1999年

名城大学

委員歴

1

電気学会, 学生員

受賞

1

2001年

DPS 2000 Award for Young Researcher

MISC

2

Behavior of atomic radicals and their effects on organic low dielectric constant film etching in high density N-2/H-2 and N-2/NH3 plasmas

H Nagai, S Takashima, M Hiramatsu, M Hori, T Goto

JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 91(5) 2615-2621 2002年3月
Behavior of atomic radicals and their effects on organic low dielectric constant film etching in high density N-2/H-2 and N-2/NH3 plasmas

H Nagai, S Takashima, M Hiramatsu, M Hori, T Goto

JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 91(5) 2615-2621 2002年3月

所属学協会

2

共同研究・競争的資金等の研究課題

2