岡本一将 (Kazumasa Okamoto) - マイポータル

基本情報

所属: 大阪大学産業科学研究所第2研究部門(材料・ビーム科学系)

学位: 博士（工学）(大阪大学)

J-GLOBAL ID: 200901074840585796
researchmap会員ID: 1000317374

外部リンク: http://www.sanken.osaka-u.ac.jp/labs/bms/

研究分野

委員歴

2021年4月 - 現在

日本原子力学会加速器・ビーム部会, 部会賞選考小委員会委員
2019年 - 現在

日本原子力学会, プログラム編成ワーキンググループ
2019年 - 現在

日本原子力学会, 加速器・ビーム科学部会運営委員
2010年4月 - 現在

International Microprocesses and Nanotechnology Conference, 論文委員
2023年6月 - 2024年5月

日本原子力学会, 枠組み編成ワーキンググループ
2016年 - 2020年

日本放射線化学会, 編集委員
2015年4月 - 2016年3月

日本原子力学会, オープンスクール小委員会委員
2011年 - 2012年

日本原子力学会北海道支部, 庶務幹事

論文

102

Effect of organic ligand and metal nanocluster core structure on resist performance of inorganic-organic hybrid resist materials for EUV and EB lithography

Hiroki Yamamoto, Takashi Hamada, Yusa Muroya, Kazumasa Okamoto, Shuhei Shimoda, Takahiro KOZAWA

Japanese Journal of Applied Physics 2025年2月26日
Dynamics of ionized poly(4-hydroxystyrene)-type resist polymers with tert-butoxycarbonyl-protecting group.

Kazumasa Okamoto, Yusa Muroya, Takahiro Kozawa

Scientific reports 14(1) 16729-16729 2024年7月20日査読有り筆頭著者責任著者
Synthesis of Resist Materials Containing Hemiacetal Groups and Their Resist Sensitivity

Kouta Iwane, Hiroto Kudo, Kazumasa Okamoto, Takahiro Kozawa

Journal of Photopolymer Science and Technology 37(3) 287-292 2024年6月25日査読有り
Synthesis of Botryosin-type Resist Material Containing Acetal Groups in the Main Chain and Its Sensitivity

Riku Akabane, Kazumasa Okamoto, Takahiro Kozawa, Hiroto Kudo

Journal of Photopolymer Science and Technology 37(3) 293-298 2024年6月25日査読有り
Effects of substituents in triphenylsulfonium cation on its radiation-induced decomposition and dissolution kinetics of chemically amplified resists

Yoshika Tsuda, Yusa Muroya, Kazumasa Okamoto, Takahiro KOZAWA, Takuya Ikeda, Yoshitaka Komuro

Japanese Journal of Applied Physics 2024年6月11日査読有り
Study on resist performance of inorganic-organic resist materials for EUV and EB lithography

Hiroki Yamamoto, Yuko Tsutsui Ito, Kazumasa Okamoto, Shuhei Shimoda, Takahiro KOZAWA

Japanese Journal of Applied Physics 2024年3月28日査読有り
Sensitization of polymethacrylate resist with adding acid-generating promoters upon exposure to EUV light

Kazumasa Okamoto, Akihiro Konda, Yuki Ishimaru, Takahiro Kozawa, Yasunobu Nakagawa, Masamichi Nishimura

Japanese Journal of Applied Physics 62(11) 116503-116503 2023年11月1日査読有り筆頭著者責任著者
Design of High-sensitive Resist Materials Based on Polyacetals

Hiroyuki Maekawa, Yutaro Iwashige, Hiroki Yamamoto, Kazumasa Okamoto, Takahiro Kozawa, Hiroto Kudo

Journal of Photopolymer Science and Technology 36(1) 31-39 2023年6月15日査読有り
Study on deprotonation from radiation-induced ionized acrylate polymers including acid-generation promoters for improving chemically amplified resists

Kazumasa Okamoto, Akihiro Konda, Yuki Ishimaru, Takahiro Kozawa, Yasunobu Nakagawa, Masamichi Nishimura

Japanese Journal of Applied Physics 61(6) 066505-066505 2022年6月1日査読有り筆頭著者責任著者
Photo- & radio-chromic iron-doped tungstic acids fabricated via submerged photosynthesis

Murakami, S., Zhang, L., Jeem, M., Okamoto, K., Nakagawa, Y., Shibayama, T., Ohnuma, M., Watanabe, S.

Optical Materials 124 111966-111966 2022年2月査読有り
Fabrication of color-toned micro/nanopattern surface by submerged photosynthesis method

Jumpei Tsukamura, Yuki Takahashi, Lihua Zhang, Melbert Jeem, Kazumasa Okamoto, Seiichi Watanabe

Microelectronic Engineering 256 111727-111727 2022年2月査読有り
Synthesis and Resist Sensitive Property of Iodine-Containing Materials using Extreme Ultraviolet (EUV) Exposure Tool

Yutaro Iwashige, Hiroto Kudo, Kazumasa Okamoto, Takahiro Kozawa

Journal of Photopolymer Science and Technology 35(1) 41-47 2022年査読有り
Exploration of charge transport materials to improve the radiation tolerance of lead halide perovskite solar cells

Yoshiyuki Murakami, Ryosuke Nishikubo, Fumitaka Ishiwari, Kazumasa Okamoto, Takahiro Kozawa, Akinori Saeki

Materials Advances 3(12) 4861-4869 2022年査読有り
Electron Beam Irradiation of Lead Halide Perovskite Solar Cells: Dedoping of Organic Hole Transport Materials despite Hardness of the Perovskite Layer

Yoshiyuki Murakami, Fumitaka Ishiwari, Kazumasa Okamoto, Takahiro Kozawa, Akinori Saeki

ACS Applied Materials & Interfaces 13(21) 24824-24832 2021年6月2日査読有り
Dependence of dose rate on the sensitivity of the resist under ultra-high flux extreme ultraviolet (EUV) pulse irradiation

Kazumasa Okamoto, Shunpei Kawai, Yuta Ikari, Shigeo Hori, Akihiro Konda, Koki Ueno, Yohei Arai, Masahiko Ishino, Thanh-Hung Dinh, Masaharu Nishikino …

Applied Physics Express 14(6) 2021年6月1日査読有り筆頭著者責任著者
Estimation of electron affinity of photoacid generators: density functional theory calculations using static and dynamic models

Kazumasa Okamoto, Takahiro Kozawa

Japanese Journal of Applied Physics 60({SC}) 2021年6月1日査読有り筆頭著者責任著者
Non-chemically Amplified Negative Molecular Resist Materials using Polarity Change by EUV Exposure

Fujisawa, K., Maekawa, H., Kudo, H., Okamoto, K., Kozawa, T.

Journal of Photopolymer Science and Technology 34(1) 2021年
Higher sensitive extreme ultraviolet (Euv) resist materials derived from p-t-butylcalix[n]arenes (n = 4 and 8)

Maekawa, H., Kudo, H., Watanabe, T., Yamamoto, H., Okamoto, K., Kozawa, T.

Journal of Photopolymer Science and Technology 33(1) 45-51 2020年査読有り
Formation of intramolecular dimer radical ions of diphenyl sulfones

Okamoto, K., Kawai, S., Kozawa, T.

Scientific Reports 10(1) 2020年査読有り筆頭著者責任著者
Heating effect of the radiation chemistry of polyhydroxystyrene-type chemically amplified resists

Ikari, Y., Okamoto, K., Konda, A., Kozawa, T., Tamura, T.

Japanese Journal of Applied Physics 59(8) 086506-086506 2020年査読有り責任著者

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MISC

192

ポリスチレンの正電荷非局在性へのパルスラジオリシスおよびシミュレーションによるアプローチ

岡本一将, 山本洋揮, 山本洋揮, 古澤孝弘

日本原子力学会春の年会予稿集(CD-ROM) 2022 2022年
G-SPSCを用いた欠陥制御による色調表面パターニング

塚村順平, 高橋優樹, 張麗華, ジェームメルバート, 岡本一将, 渡辺精一

日本金属学会講演大会(Web) 169th 2021年
鉛ペロブスカイト太陽電池の電子線照射効果

村上誉幸, 石割文崇, 岡本一将, 古澤孝弘, 佐伯昭紀

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 68th 2021年
化学増幅型レジストの電子線照射による膜厚依存性

前田尚輝, 岡本一将, 井狩優太, 誉田明宏, 古澤孝弘, 田村貴央

日本原子力学会春の年会予稿集(CD-ROM) 2020 2020年
Mechanism of resist heating effect in chemically amplified resist

Y. Ikari, K. Okamoto, N. Maeda, A. Konda, T. Kozawa, T. Tamura

Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering 11326 2020年査読有り責任著者
Sensitivity enhancement of chemically amplified EUV resist by adding diphenyl sulfone derivatives

Kazumasa Okamoto, Shunpei Kawai, Takahiro Kozawa

ADVANCES IN PATTERNING MATERIALS AND PROCESSES XXXVII 11326 2020年筆頭著者責任著者
ポリスチレン-フェニルシラン誘導体溶液の電子線パルスラジオリシス

岡本一将, 岡本一将, 堀成生, 大沼正人, 古澤孝弘

日本原子力学会春の年会予稿集(CD-ROM) 2019 2019年
水中光合成による酸化鉄ナノ粒子の作製と異なる光源下での形態

ZHANG Lihua, 沖中憲之, 渡辺精一, 岡本一将

材料とプロセス(CD-ROM) 32(2) 2019年
ジフェニルスルホン酸生成促進剤による化学増幅型レジストの感度向上

河合俊平, 岡本一将, 大沼正人, 古澤孝弘

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 80th 2019年
軟X線自由電子レーザーによるレジスト材料照射に関する研究

岡本一将, 河合俊平, 堀成生, 井狩優太, 前田尚輝, 誉田明宏, 古澤孝弘, 錦野将元, 石野雅彦, DINH Thanh-Hung …

日本原子力学会秋の大会予稿集(CD-ROM) 2019 2019年
化学増幅レジスト薄膜における電子線照射による熱影響

井狩優太, 岡本一将, 前田尚輝, 誉田明宏, 古澤孝弘, 田村貴央

日本原子力学会秋の大会予稿集(CD-ROM) 2019 2019年
パルスラジオリシス法を用いたレジスト材料の放射線化学初期過程の解明と応用

岡本一将, 古澤孝弘

放射線化学(Web) (107) 2019年
パルスラジオリシスによるフェニルスルホン化合物の放射線化学反応

岡本一将, 岡本一将, 河合俊平, 山本洋揮, 古澤孝弘

日本原子力学会春の年会予稿集(CD-ROM) 2018 2018年
フッ素系EUVレジストモデル分子の放射線誘起初期過程

岡本一将, 山本洋揮, 小林一雄, 古澤孝弘

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 79th 2018年
パルスラジオリシスによるレジスト材料の放射線化学初期過程の解明と展開

岡本一将, 岡本一将, 古澤孝弘

放射線化学討論会講演要旨集 61st 2018年
液体フェニルシラン誘導体のパルスラジオリシス

堀成生, 岡本一将, 岡本一将, 山本洋揮, 室屋裕佐, 古澤孝弘, 大沼正人

放射線化学討論会講演要旨集 61st 2018年
Effects of the plasma process for self-aligned nanocarbon field-effect transistors

Toshio Kawahara, Singh Kumar Rupesh, Kazuhiko Matsumoto, Yasuhide Ohno, Kazumasa Okamoto, Kenzo Maehashi, Risa Utsunomiya, Teruaki Matsuba

2017 INTERNATIONAL CONFERENCE ON NOISE AND FLUCTUATIONS (ICNF) 2017年
化学増幅型レジストへのスルホン化合物の添加効果

岡本一将, 岡本一将, 藤井槙哉, 山本洋揮, 古澤孝弘, 井谷俊郎

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 64th 2017年
カーボンナノウォールFETのプラズマプロセスの電極ノイズへの影響

河原敏男, RUPESH S. K., 大海雄介, 大野恭秀, 前橋兼三, 松本和彦, 岡本一将, 宇都宮里佐, 松葉晃明

表面科学学術講演会講演要旨集 37th 2017年
チェコ共和国針葉樹林域における土壌および林床植物の⁴⁰K/K分布

福原晴海, 高橋俊輔, 岡本一将, 梅垣菊男, 藤吉亮子

日本原子力学会秋の大会予稿集(CD-ROM) 2017 2017年

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所属学協会

共同研究・競争的資金等の研究課題

放射線プロセスによる位置制御可能なケミカルフリー水中酸化物結晶生成法の確立

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(C) 2022年4月 - 2025年3月

岡本一将
ガルバニック水中結晶光合成の学理構築に基づく機能性３次元ヘテロナノ構造体創製

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(A) 基盤研究(A) 2020年4月 - 2023年3月

渡辺精一, 柴山環樹, 岡本一将, JEEM MELBERT, 張麗華
量子ビーム科学とデータ科学の融合によるシングルナノ材料開発

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(A) 基盤研究(A) 2018年4月 - 2023年3月

古澤孝弘, 室屋裕佐, 岡本一将, 大沼正人
放射線微細加工プロセスにおける脱プロトン誘起機構の解明と応用

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(C) 基盤研究(C) 2019年4月 - 2022年3月

岡本一将
放射線誘起ナノ微細加工における電荷非局在性の影響

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(C) 基盤研究(C) 2015年4月 - 2018年3月

岡本一将, 古澤孝弘
自己組織化数層グラフェンの糖鎖修飾による高病原性鳥インフルエンザセンサの開発

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(C) 基盤研究(C) 2014年4月 - 2017年3月

河原敏男, 前橋兼三, 岡本一将, 鈴木康夫
電子線・レーザー逐次照射法による微細加工用高分子の新規放射線増感反応の探索

日本学術振興会科学研究費助成事業挑戦的萌芽研究挑戦的萌芽研究 2013年4月 - 2016年3月

藤吉亮子, 岡本一将
極薄膜高分子の局所イオン化反応の解明と応用

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(C) 基盤研究(C) 2012年4月 - 2015年3月

岡本一将
量子ビームによる微細加工用高分子のイオン化ダイナミクスの解明

日本学術振興会科学研究費助成事業若手研究(B) 若手研究(B) 2010年 - 2011年

岡本一将
レジスト材料のナノサイズゆらぎ制御のための分子ダイナミクスと反応機構の解明

日本学術振興会科学研究費助成事業若手研究(B) 若手研究(B) 2007年 - 2008年

岡本一将
フェムト秒パルスラジオリシス法によるナノ時空間反応プロセスの解明

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(S) 基盤研究(S) 2005年 - 2008年

田川精一, 古澤孝弘, 関修平, 佐伯昭紀, 岡本一将, 山本洋揮

産業財産権

特許第5988304号薄膜トランジスタおよびその製造方法

河原敏男, 岡本一将, 松本和彦, 宇都宮里佐, 松葉晃明, 松本均
特許第5886547号カーボンナノウォール配列体およびカーボンナノウォールの製造方法

河原敏男, 岡本一将, 松本和彦, 宇都宮里佐, 松葉晃明, 松本均
特許第5856303号薄膜トランジスタおよびその製造方法

河原敏男, 岡本一将, 松本和彦, 宇都宮里佐, 松葉晃明, 松本均
特開2014-175418 薄膜トランジスタおよびその製造方法

河原敏男, 岡本一将, 松本和彦, 宇都宮里佐, 松葉晃明, 松本均
WO2014-030239 薄膜トランジスタおよびその製造方法

河原敏男, 岡本一将, 松本和彦, 宇都宮里佐, 松葉晃明, 松本均
特開2013-014478 カーボンナノウォール配列体およびカーボンナノウォールの製造方法

河原敏男, 岡本一将, 松本和彦, 宇都宮里佐, 松葉晃明, 松本均

岡本一将

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共同研究・競争的資金等の研究課題

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