益一哉 (Kazuya Masu) - マイポータル

基本情報

所属: 東京工業大学学長
: (兼任)博物館教授

学位: 工学博士(東京工業大学)

研究者番号: 20157192
J-GLOBAL ID: 200901093758592940
researchmap会員ID: 1000321699

研究キーワード

集積回路工学

研究分野

ものづくり技術（機械・電気電子・化学工学） / 電子デバイス、電子機器 /

経歴

2018年4月

東京工業大学, 学長
2016年4月 - 2018年

東京工業大学, 科学技術創成研究院, 研究院長・教授
2014年4月 - 2016年3月

東京工業大学, フロンティア研究機構, 教授
2011年4月 - 2016年3月

東京工業大学, 異種機能集積研究センター, センター長
2000年6月 - 2016年3月

東京工業大学, 精密工学研究所, 教授
2010年4月 - 2014年3月

東京工業大学, ソリューション研究機構, 教授
2005年10月 - 2010年3月

東京工業大学, 統合研究院, 教授
2000年6月 - 2001年3月

東北大学, 電気通信研究所, 教授 (併任）
1993年4月 - 2000年5月

東北大学, 電気通信研究所, 助教授
1982年4月 - 1993年3月

東北大学, 電気通信研究所, 助手

学歴

1977年4月 - 1982年3月

東京工業大学, 工学研究科, 電子工学専攻
1975年4月 - 1977年

東京工業大学, 工学部, 電子物理工学科
1970年4月 - 1975年3月

神戸市立工業高等専門学校, 電気工学科

委員歴

2017年5月 - 2019年5月

エレクトロニクス実装学会, 会長
2014年3月 - 2016年3月

応用物理学会, 副会長
2009年5月 - 2010年5月

電子情報通信学会, エレクトロニクスソサイエティ会長
2000年 - 2001年

IEEE（The Institute of Electrical and Electronics Engineers）, EDS, Japan Chapter, Secretary
1995年 - 1995年

応用物理学会, 編集委員
The Electrochemical Society, Japan sect. Committee Member

受賞

2017年1月

NEアナログ・イノベーション・アワード2016 優秀賞, 日経エレクトロニクス

益, 伊藤研究室
2015年

フェロー, 電子情報通信学会
2013年5月

業績賞, スケーラブル広帯域RF CMOS集積回路の研究, 電子情報通信学会

益一哉, 石原昇
2013年

フェロー, 電気学会
2010年10月

社団法人電気学会上級会員, 社団法人電気学会
2009年9月

社団法人応用物理学会フェロー, 応用物理学会

論文

277

Effect of current density on micro-mechanical property of electrodeposited gold film evaluated by micro-compression

Taro Omura, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Hiroyuki Ito, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone

Surface and Coatings Technology 436 128315-128315 2022年4月
Effective Young’s Modulus of Complex Three Dimensional Multilayered Ti/Au Micro-Cantilevers Fabricated by Electrodeposition and the Temperature Dependency

Hitomi Watanabe, Tso-Fu Mark Chang, Michael Schneider, Ulrich Schmid, Chun-Yi Chen, Shinichi Iida, Daisuke Yamane, Hiroyuki Ito, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone

Electrochem 2021年4月査読有り招待有り
A 3-D Capacitive-Detection Electrode for a Single Gold Proof-Mass Three-Axis MEMS Accelerometer

Takashi Ichikawa, Akihiro Uchiyama, Kohei Shibata, Shinichi Iida, Sangyeop Lee, Noboru Ishihara, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Hiroyuki Ito

INERTIAL 2021 - 8th IEEE International Symposium on Inertial Sensors and Systems, Proceedings 2021年3月22日
Effects of Sample Geometry and Grain Size on Mechanical Property of Electrodeposited Gold Evaluated By Micro-Bending Test

Kosuke Suzuki, Yu-An Chien, Ken Hashigata, Keisuke Asano, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Hiroyuki Ito, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone

ECS Meeting Abstracts 2020年11月23日査読有り
Effects of Sample Geometry on Micro-Mechanical Property of Single Crystal Gold for Applications in Microelectronics

Kazuya Fujita, Kosuke Suzuki, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Hiroyuki Ito, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone

ECS Meeting Abstracts 2020年11月23日査読有り
Co-Electrodeposition of Au–TiO2 Nanocomposite and the Micro-Mechanical Properties

Yu-An Chien, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Daisuke Yamane, Hiroyuki Ito, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone

Electrochem 1(4) 388-393 2020年11月1日
Sample geometry effect on mechanical property of gold micro-cantilevers by micro-bending test

Kosuke Suzuki, Tso-Fu Mark Chang, Ken Hashigata, Keisuke Asano, Chun-Yi Chen, Takashi Nagoshi, Daisuke Yamane, Hiroyuki Ito, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone

MRS Communications 1-5 2020年6月5日
A 100-nG/√ Hz-Level Single Au Proof-Mass 3-Axis MEMS Accelerometer with Pillar-Shaped electrodes

Takashi Ichikawa, Ken Atsumi, Tatsuya Koga, Hiroyuki Ito, Shin Ichi Iida, Noboru Ishihara, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu

2020 Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS and MOEMS, DTIP 2020 2020年6月
Electrodeposition of Au-Cu Alloys and the Micro-Mechanical Properties

Tso-Fu Mark Chang, Haochun Tang, Chun-Yi Chen, Daisuke Yamane, Hiroyuki Ito, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone

ECS Meeting Abstracts {MA}2020-01(20) 1233-1233 2020年5月1日査読有り
CMOS-MEMS based microgravity sensor and its application

Kazuya Masu, Katsuyuki Machida, Daisuke Yamane, Hiroyuki Ito, Noboru Ishihara, Tso Fu Mark Chang, Masato Sone, Ryo Shigeyama, Taiki Ogata, Yoshihiro Miyake

ECS Transactions 97(5) 91-108 2020年4月
A Gold Proof-Mass Differential MEMS Accelerometer for Micro-G Level Sensing

Tatsuya Koga, Takashi Ichikawa, Daisuke Yamane, Shinichi Iida, Noboru Ishihara, Hiroyuki Ito, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu

INERTIAL 2020 - 7th IEEE International Symposium on Inertial Sensors and Systems, Proceedings 2020年3月
Alloy Electroplating and Young's Modulus Characterization of AuCu Alloy Microcantilevers

Kyotaro Nitta, Tso Fu Mark Chang, Haochun Tang, Chun Yi Chen, Shinichi Iida, Daisuke Yamane, Katsuyuki MacHida, Hiroyuki Ito, Kazuya Masu, Masato Sone

Journal of the Electrochemical Society 167(8) 2020年1月5日
Distributed Sensing Via Inductively Coupled Single-Transistor Chaotic Oscillators: A New Approach and Its Experimental Proof-of-Concept

Ludovico Minati, Korkut Kaan Tokgoz, Mattia Frasca, Yasuharu Koike, Jacopo Iannacci, Natsue Yoshimura, Kazuya Masu, Hiroyuki Ito

IEEE Access 8 36536-36555 2020年査読有り
Fabrication of Au-Cu Alloy/Ti Layered Micro-Cantilevers and the Long-Term Structure Stability

Kyotaro Nitta, Masato Sone, Haochun Tang, Chun Yi Chen, Tso Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Shinichi Iida, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Kazuya Masu

Proceedings of IEEE Sensors 2019-October 2019年10月査読有り
High-Sensitivity Inertial Sensor Module to Measure Hidden Micro Muscular Sounds

Tatsuya Koga, Katsuyuki Machida, Yoshihiro Miyake, Kazuya Masu, Takashi Ichikawa, Naoto Tanaka, Taiki Ogata, Hiroki Ora, Daisuke Yamane, Noboru Ishihara, Hiroyuki Ito, Masato Sone

BioCAS 2019 - Biomedical Circuits and Systems Conference, Proceedings 2019年10月査読有り
Nanoscale hierarchical structure of twins in nanograins embedded with twins and the strengthening effect

Haochun Tang, Tso Fu Mark Chang, Yaw Wang Chai, Chun Yi Chen, Takashi Nagoshi, Daisuke Yamane, Hiroyuki Ito, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone

Metals 9(9) 2019年9月査読有り
Strengthening of micro-cantilever by Au/Ti bi-layered structure evaluated by micro-bending test toward MEMS devices

Ken Hashigata, Tso Fu Mark Chang, Haochun Tang, Chun Yi Chen, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Hiroyuki Ito, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone

Microelectronic Engineering 213 13-17 2019年5月15日査読有り
Pillar-Shaped Electrodes for 3-axis Gold-Proof-Mass MEMS Capacitive Accelerometers

Ken Atsumi, Shota Otobe, Tatsuya Koga, Takashi Ichikawa, Daisuke Yamane, Shinichi Iida, Hiroyuki Ito, Noboru Ishihara, Masato Sone, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu

2019 Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS and MOEMS, DTIP 2019 2019年5月査読有り
Causal characteristic impedance determination using calibration comparison and propagation constant

S. Amakawa, A. Takeshige, S. Hara, R. Dong, S. Lee, T. Yoshida, M. Fujishima, K. Masu, H. Ito

92nd Automatic RF Techniques Group Microwave Measurement Conference 1-6 2019年1月22日査読有り
Current-Starved Cross-Coupled CMOS Inverter Rings as Versatile Generators of Chaotic and Neural-Like Dynamics Over Multiple Frequency Decades.

Ludovico Minati, Mattia Frasca, Natsue Yoshimura, Leonardo Ricci, Pawel Oswiecimka, Yasuharu Koike, Kazuya Masu, Hiroyuki Ito

IEEE Access 7 54638-54657 2019年

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MISC

547

Novel Metal Electrodeposition and the Recent Application

Masato Sone, Kazuya Masu

2019年3月6日
口腔内荷重計測のための超低消費電力ワイヤレスセンサノードの検討

伊藤浩之, 石原昇, 道正志郎, 益一哉, 依田信裕, 佐々木啓一

生体医歯工学共同研究拠点成果報告書平成29年度 163-163 2018年4月
A 0.18-µm CMOS time-domain capacitive-sensor interface for sub-1mG MEMS accelerometers

Motohiro Takayasu, Shiro Dosho, Hiroyuki Ito, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Noboru Ishihara, Kazuya Masu

IEICE Electronics Express 15(2) 2018年
フォトゲート型蛍光センサを用いたレジオネラの蛍光観測 (第9回集積化MEMSシンポジウム)

大西脩平, 崔容俊, 石田誠, 澤田和明, 石井仁, 町田克之, 益一哉, 二階堂靖彦, 齋藤光正, 吉田眞一

「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 34 1-4 2017年10月31日
積層メタル技術によるMEMS加速度センサの傾斜時感度特性の検討 (第9回集積化MEMSシンポジウム)

古賀達也, 辻一平, 高安基大, 伊藤浩之, 山根大輔, 道正志郎, 石原昇, 町田克之, 益一哉, 小西敏文

「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 34 3p 2017年10月31日
Sub-1mG MEMS inertial sensors for biomedical applications

Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Hiroshi Toshiyoshi, Masato Sone, Katsuyuki Machida, Yoshihiro Miyake, Kazuya Masu

2017 IEEE 12TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON NANO/MICRO ENGINEERED AND MOLECULAR SYSTEMS (NEMS) 2017年
マイクロ流路チップを用いたレジオネラ・ニューモフィラとレジオネラ・デュモフィのストレス応答の観測 (第8回集積化MEMSシンポジウム)

大西脩平, 西村祐典, 石田誠, 澤田和明, 石井仁, 町田克之, 益一哉, 王常楽, 飯田健一郎, 齋藤光正, 吉田眞一

「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 33 1-5 2016年10月2日
マルチフィジクスシミュレーションを用いたCMOS-MEMS慣性センサのノイズ解析手法 (第8回集積化MEMSシンポジウム)

小西敏文, 山根大輔, 伊藤浩之, 道正志郎, 石原昇, 益一哉, 年吉洋, 町田克之

「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 33 1-4 2016年10月2日
差動型積層メタル MEMS 加速度センサの検討 (第8回集積化MEMSシンポジウム)

山根大輔, 伊藤浩之, 曽根正人, 益一哉, 町田克之, 小西敏文, 佐布晃昭, 年吉洋

「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 33 1-4 2016年10月2日
Sub-1mG検出へ向けた積層メタルMEMS慣性センサ (第8回集積化MEMSシンポジウム)

山根大輔, 曽根正人, 益一哉, 町田克之, 小西敏文, 佐布晃昭, 年吉洋

「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 33 1-4 2016年10月2日
積層メタル技術によるMEMS加速度センサを用いた慣性センサモジュールの検討 (第8回集積化MEMSシンポジウム)

權田惇晟, 高安基大, 山根大輔, 伊藤浩之, 道正志郎, 石原昇, 益一哉, 小西敏文, 町田克之

「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 33 1-4 2016年10月2日
電解金めっき法により作製した金/チタン積層構造を有する微小カンチレバーの構造安定性の評価

寺西美波, Chang Tso-Fu Mark, Chen Chun-Yi, 山根大輔, 益一哉, 曽根正人, 小西敏文, 町田克之, 年吉洋

「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 33 1-4 2016年10月2日
RC発振器型高感度容量検出回路 (第8回集積化MEMSシンポジウム)

高安基大, 道正志郎, 伊藤浩之, 石原昇, 山根大輔, 益一哉, 小西敏文, 町田克之

「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 33 1-4 2016年10月2日
高感度MEMS加速度センサー用金電気めっきの変形挙動および強度の結晶方位依存性評価

葭葉将治, Chen Chun-Yi, Chang Tso-Fu Mark, 山根大輔, 町田克之, 益一哉, 曽根正人, 名越貴志

「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 33 1-4 2016年10月2日
微小引張試験片を用いたMEMS用金めっき材料の機械的特性の評価

柳田佐理, Chang Tso-Fu, Chen Chu-Yi, 山根大輔, 益一哉, 曽根正人, 名越貴志, 町田克之

「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 33 1-4 2016年10月2日
微小曲げ試験による金めっきで作製した微小カンチレバーの機械的特性評価

浅野啓介, 唐浩峻, Chen Chun-Yi, Chang Tso-Fu Mark, 山根大輔, 益一哉, 曽根正人, 名越貴志, 町田克之

「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 33 1-4 2016年10月2日
C-12-2 J型折り畳みモノポールアンテナを用いた0.5V 1.56mW OOKトランシーバモジュール(C-12.集積回路,一般セッション)

石川洋介, 李尚曄, 米澤慎, 池田翔, 方一鳴, 濱田泰輔, 伊藤浩之, 石原昇, 益一哉

電子情報通信学会総合大会講演論文集 2016(2) 75-75 2016年3月1日
C-10-16 Sub-1G検出へ向けた積層メタル3軸加速度センサの基礎検討(C-10.電子デバイス/シリコン材料・デバイス,一般セッション)

山根大輔, 小西敏文, 年吉洋, 益一哉, 町田克之

電子情報通信学会総合大会講演論文集 2016(2) 73-73 2016年3月1日
C-2-99 SSOP表面実装部品対応型RFユニバーサル基板(C-2.マイクロ波C(マイクロ波・ミリ波応用装置),一般セッション)

高安基大, 權田惇晟, 石川洋介, 伊藤浩之, 道正志郎, 石原昇, 益一哉

電子情報通信学会総合大会講演論文集 2016(1) 128-128 2016年3月1日
B-18-28 無線センサネットワークにおける環境情報再生手法を用いたサンプリング周波数評価(B-18.知的環境とセンサネットワーク,一般セッション)

大場康平, 米田嘉浩, 菅沼隆史, 伊藤浩之, 石原昇, 後藤邦彦, 益一哉

電子情報通信学会総合大会講演論文集 2016(2) 526-526 2016年3月1日

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書籍等出版物

電子物性とデバイス

益一哉, 天川修平

コロナ社 2020年11月 (ISBN: 9784339018097)
Advanced Microwave Circuits and Systems

2010年 (ISBN: 9789533070872)
Advanced Microwave Circuits and Systems

2010年 (ISBN: 9789533070872)
日本学術振興会薄膜131委員会編「薄膜ハンドブック（第二版）」2008年

日本学術振興会薄膜131委員会 2008年
Al-CVD技術と装置・材料

2004半導体テクノロジー大全（電子ジャーナル） 2004年

講演・口頭発表等

386

Wireless pH sensor module with an ISFET

2010 年電子情報通信学会総合大会 2010年
A Digital Based Scalable QPSK RF Modulator

2010年
Investigation of CMOS QPSK RF Signal Generator using Injection Locking

2010 年電子情報通信学会総合大会 2010年
Wide-Band, Linear Low Noise Amplifier Design

2010年
Study of High-Gain and Wideband RF Variable Gain Amplifier based on CMOS Inverter Topology.

2010年
2.8窶骭11 GHz Wideband Differential Ring-VCO.

2010年
A Study of MUX/DEMUX With Clocked Inverter Type D-FF

2010年
Performance Comparison of High-Speed Digital Signal Transmission Characteristics between RC Line and Transmission Line

2010年
RF Variable Inductor with MEMS Circular Actuator

2010年
Robust importance sampling for efficient SRAM yield analysis

International Symposium on Quality Electronic Design (ISQED) 2010年
On the validity of bisection-based thru-only de-embedding

2010 IEEE International Conference on Microelectronic Test Structures (ICMTS2010) 2010年
Linear Time Calculation of State-Dependent Power Distribution Network Capacitance.

International Symposium on Quality Electronic Design (ISQED) 2010年
Low-Phase-Noise Wide-Frequency-Range Ring-VCO-Based Scalable PLL with Subharmonic Injection Locking in 0.18μm CMOS

IEEE MIT-S INTERNATIONAL MICROWAVE SYMPOSIUM (IMS2010) 2010年
Wideband Low Noise Amplifier Design using Noise Canceling and Wideband Input Matching Technique

2010年
Decomposition of Drain-Current Variation Into Gain-Factor and Threshold Voltage Variations

IEEE International Symposium on Circuits and Systems (ISCAS 2010) 2010年
Scan Based Process Parameter Estimation Through Path-Delay Inequalities

IEEE International Symposium on Circuits and Systems (ISCAS 2010) 2010年
Wideband, High-linearity Low-noise Amplifire Design in Sub-micrometer CMOS Technology

28th Progress In Electromagnetics Research Symposium 2010年
A Wearably Small Low-Power Wireless pH Sensor Module Incorporating an lon-sensitive Field-Effect Transtor

The 13th International Meeting on Chemical Sensors (IMCS-13) 2010年
High Voltage Charge Pump Circuit in 0.18μm CMOS Process for MEMS Electrostatic Actuators Controlling

Integrated Circuits and Devices in Vietnam (ICDV) 2010 2010年
Introductory Talk: Present and Future of Integration with Diverse Finctionalities

2010年

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所属学協会

Works(作品等)

Si CMOS技術による超広帯域リコンフィギュラブルRF集積回路技術の研究開発

2004年 - 2004年芸術活動
オンチップＬＡＮを実現するバスＩＰの開発

2004年 - 2004年芸術活動
次世代オンチップマイクロ波素子

2004年 - 2004年芸術活動
ウエハレベルパッケージ技術による高周波ＩＣ用インダクタの開発

2004年 - 2004年芸術活動
GHz信号伝送多層配線技術

2001年 - 2004年芸術活動
LSIにおける高速配線技術の研究

2001年 - 2003年芸術活動
LSI内部の高速信号伝送技術

2002年 - 2002年芸術活動
Al-CVD技術を用いた高信頼多層配線技術

2002年 - 2002年芸術活動

益一哉

基本情報

研究キーワード

研究分野

経歴

学歴

委員歴

受賞

論文

MISC

書籍等出版物

講演・口頭発表等

所属学協会

Works(作品等)

共同研究・競争的資金等の研究課題

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