田村 進
タムラ ススム (Susumu Tamura)
更新日: 2022/08/03
基本情報
学歴
2-
- 1971年
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- 1971年
MISC
89-
Japanese Journal of Applied Physics, Part 1: Regular Papers and Short Notes and Review Papers 43(11 B) 7871-7875 2004年11月
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JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS 43(11B) 7871-7875 2004年11月
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JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS 43(11B) 7871-7875 2004年11月
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JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS 43(11B) 7871-7875 2004年11月
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Jpn. J. Appl. Phys. 43(11B) 7871-7875 2004年
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極薄シリコン酸化膜の形成・評価・信頼性第９回研究報告 pp.139-143 2004年
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Jpn. J. Appl. Phys. Vol.43 pp.7871-7875 2004年
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Titanium oxy-nitride films deposited on stainless steel by an ion beam assisted deposition techniqueJournal of Materials Sience Vol.38 pp2011-2018 2003年
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Titanium oxy-nitride films deposited on stainless steel by an ion beam assisted deposition techniqueJournal of Materials Sience Vol.38 pp2011-2018 2003年
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第113号 pp.12-13 2002年
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Surface and Coatings Technology Vol.158 pp690-693 2002年
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Surface and Coating Technology Vol.158 pp568-572 2002年
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Surface and Coatings Technology Vol.158 pp690-693 2002年
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Surface and Coating Technology Vol.158 pp568-572 2002年
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技苑 第111号 pp.15-17 2001年3月29日
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材料 第50巻 pp.901-903 2001年
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Surface Review and Letters Vol.8 No.3&4 pp.245-249 2001年
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Surface Review and Letters Vol.8 No.3&4 pp.245-249 2001年
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技苑 第102号 2000年1月31日
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Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B Vol.166/167 pp.87-91 2000年
講演・口頭発表等
17-
2007 Int. Meeting for Future of Electron Devices, Kansai 2007年
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電子情報通信学会 2007年
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2007 Int. Meeting for Future of Electron Devices, Kansai 2007年
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14th Workshop on Dielectrics in Microelectronics 2006年
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14th Workshop on Dielectrics in Microelectronics 2006年
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第５２回応用物理学関係連合講演会 2005年
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第５２回応用物理学関係連合講演会 2005年
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23rd Electronic Materials Symposium（EMS-23） 2004年
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2004Int. Workshop on Dielectric Thin Films for Future ULSI Devices-Science and Technology（IWDTF-2004） 2004年
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第５１回応用物理関係連合講演会 2004年
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23rd Electronic Materials Symposium（EMS-23） 2004年
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2004Int. Workshop on Dielectric Thin Films for Future ULSI Devices-Science and Technology（IWDTF-2004） 2004年
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第６４回応用物理学会学術講演会 2003年
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第６４回応用物理学会学術講演会 2003年
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第６４回応用物理学会学術講演会 2003年
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第５０回応用物理関係連合講演会 2003年
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第４８回応用物理関係連合講演会 2001年