2018年10月31日 SiC上グラフェンの高感度ガス応答 第10回「集積化MEMSシンボジウム」 越智 柊太, 寺谷 仁志, 北岡 誠, 大野 恭秀, 永瀬 雅夫 記述言語 日本語 会議種別 主催者 応用物理学会 開催地 札幌市民交流プラザ,札幌市