近年,半導体微細加工技術にの発展により,極微構造を持つ半導体素子の作成が可能となってきた.このような極微構造では,電子の波としての性質,いわゆる量子干渉現象が現れる.この現象を利用した新しい半導体素子は,小電力,高速動作が可能な次世代半導体素子として注目されており,研究開発が盛んに行われている.将来,様々な量子電子波素子を結合するため,複雑な形状を持つ電子波動波路が利用されると考えられる.従って,電子波導波回路用CAD(計算機支援設計)の開発は重要な課題である.本報告では,新しい積分方程式を利用した電子波導波回路のCADの例を示す.