特許権 Ｓｉ薄膜の作製方法 東北大学 中嶋 一雄, 宇佐美 徳隆, 宇治原 徹, 藤原 航三 出願番号 特願2003-167493 出願日 2003年6月12日 特許番号/登録番号 特許第3978494号 登録日 発行日 2007年7月6日
