薄膜パターン形成装置及び電子回路装置(内容；各種電子デバイス(LSI,高密度回路基板、TFT、各種ﾌﾗｯﾄパネルディスプレイ、光導波路回路基板、等)の回路パターンのﾄﾞﾗｲ形成法)