2020年12月
Composition Dependence of Crystal Structures and Electrical Properties of Ca-Mg-Si Films Prepared by Sputtering
Journal of Electronic Materials
- ,
- ,
- ,
- ,
- ,
- ,
- ,
- ,
- 巻
- 49
- 号
- 12
- 開始ページ
- 7509
- 終了ページ
- 7517
- 記述言語
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- DOI
- 10.1007/s11664-020-08510-2
- 出版者・発行元
- Springer Science and Business Media LLC
- リンク情報
- ID情報
-
- DOI : 10.1007/s11664-020-08510-2
- ISSN : 0361-5235
- eISSN : 1543-186X