特許権 半導体装置 荒川泰彦, 中岡俊裕, 斎藤敏夫, 硴塚孝明 出願番号 特願2003-335227 出願日 公開番号 特開2005-99586 公開日 特許番号/登録番号 特許第4375661号 登録日 発行日 2009年9月18日
