渋谷眞人 (Masato Shibuya) - マイポータル - researchmap

基本情報

学位: 博士(工学)(東京大学)

J-GLOBAL ID: 200901090561066385
researchmap会員ID: 1000369968

外部リンク: http://www.t-kougei.ac.jp/engineering/index.html

研究キーワード

4

研究分野

3

委員歴

5

受賞

1

1996年

科学技術庁長官賞

MISC

11

Deviation of the generalized equation of distortion by integrating the optical differential invariant

OPI1K 113(1), 1-3 2001年
Deviation of the generalized equation of distortion by integrating the optical differential invariant

OPI1K 113(1), 1-3 2001年
超解像の光学(分担執筆)

学会出版センター 1999年
Mathematical treatment of condenser aberration

M Shibuya, CG Krautschik, KKH Toh

OPTIK 110(12) 583-587 1999年
投影光学系リソグラフィーの評価法

光学 23 29 1994年
Isoplantic condition and the characteristic of defocus in an optical system of low Fresnel number

OPTIK 93 93 1994年
Performance of resolution enhancement technique using both multiple exposure and nonlinear resist

J. J. A. P 33(12B) 6874-6877 1994年
像強度の解析的公式と投影リソグラフィーの実用解像度

光学 21 638 1992年
Exact sine condition in the presence of spherical aberration

Appl. Opt. 31 2206 1992年
THE NON-ISOPLANATIC IMAGE EQUATION AND THE EFFECT OF NOT SATISFYING THE SINE CONDITION IN THE SCANNING MICROSCOPE

M SHIBUYA, H OOKI

JOURNAL OF MODERN OPTICS 36(10) 1353-1365 1989年10月
不遊条件とOTFの計算

光学 13 40 1984年

所属学協会

4

共同研究・競争的資金等の研究課題

6

産業財産権

3