有機エレクトロニクス材料の基礎物性の理解には、表面がよく規定された単結晶試料の利用が望ましい。そこで本研究では、ペンタセン等の有機単結晶の表面の安定性や酸化による表面への影響などをAFMによる表面形状観察に加え、最表面に敏感かつ実時間計測が可能なHe原子線散乱装置を用いて計測した。本講演では、これらの計測結果から、有機単結晶の脱離などに伴う表面状態の変化について考察する。