論文

2015年

Ge(100)2x1表面の大気酸化物の放射光光電子分光分析

表面科学学術講演会要旨集
  • 吉越, 章隆
  • ,
  • 岡田, 隆太
  • ,
  • 寺岡, 有殿
  • ,
  • 山田, 洋一
  • ,
  • 佐々木, 正洋

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0
開始ページ
159
終了ページ
記述言語
日本語
掲載種別
研究論文(学術雑誌)
出版者・発行元
公益社団法人 日本表面科学会

GeはSiより優れたキャリアー移動度を有するため、次世代LSIの代替えチャネル材料として注目されている.一般にその酸化物は大気中で不安定と考えられることから、大気中での酸化膜に関する研究が重要となっている.そこで、超高真空中で作成したGe(100)2x1清浄表面を大気に放置した後に形成される表面酸化物を放射光光電子分光によって調べた.超高真空中の酸素ガス導入により形成される酸化物と異なることが明らかにとなった.

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