論文

2015年

Ge(100)2×1およびGe(111)c(2×8)表面の室温酸化物の放射光光電子分光研究

表面科学学術講演会要旨集
  • 吉越, 章隆
  • ,
  • 岡田, 隆太
  • ,
  • 寺岡, 有殿
  • ,
  • 山田, 洋一
  • ,
  • 佐々木, 正洋

35
0
開始ページ
158
終了ページ
記述言語
日本語
掲載種別
研究論文(学術雑誌)
出版者・発行元
公益社団法人 日本表面科学会

GeはSiより優れたキャリアー移動度を有するため、次世代LSIの代替えチャネル材料として注目されている.酸素ガスおよび超音速酸素分子線によって超高真空中で作成したGe(100)2×1およびGe(111)c(2×8)清浄表面を室温酸化したものを比較した.発表では、放射光光電子分光によって明らかになった吸着量や酸化価数の違いおよび酸化反応メカニズムなどを報告する.

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