三隅伊知子 (Ichiko Misumi) - マイポータル

基本情報

所属: 国立研究開発法人産業技術総合研究所物質計測標準研究部門ナノ構造計測標準研究グループ研究グループ長

学位: 博士(工学)(東京大学)

J-GLOBAL ID: 200901056571771679
researchmap会員ID: 5000006230

外部リンク: http://www.aist.go.jp/RESEARCHERDB/cgi-bin/worker_detail.cgi?call=namae&rw_id=I19947117

研究分野

受賞

2019年5月

2018 Highlights of Measurement Science and Technology

Ryosuke Kizu, Ichiko Misumi, Akiko Hirai, Kazuto Kinoshita, Satoshi Gonda
2018年6月

Certificate of Outstanding Contribution in Reviewing awarded April 2018 to Ichiko Misumi in recognition of the contributions made to the quality of the journal, Precision Engineering

三隅伊知子
2017年1月

Certificate of appreciation awarded to Ichiko Misumi for serving as a reviewer for Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS during the calendar year of 2016, The International Society for Optical Engineering, SPIE

三隅伊知子
2014年9月

Excellent Presentation Award, "PROFILE SURFACE ROUGHNESS MEASUREMENT USING METROLOGICAL ATOMIC FORCE MICROSCOPE AND UNCERTAINTY EVALUATION", 11th IMEKO Symposium LMPMI 2014 International Conference Sep. 2-5, 2014, Tsukuba, Japan

三隅伊知子
2011年4月

平成２３年度文部科学大臣表彰（科学技術賞(開発部門)）, 「標準ナノスケールと校正技術の開発」

三隅伊知子
2008年5月

Highly Commended Paper Award 2007, "Application of a GaAs/InGaP superlattice in nanometric lateral scales", Measurement Science and Technology, Institute of Physics

三隅伊知子
2006年10月

Outstanding Precision Measurement Paper Award 2005, "Sub-hundred nanometre pitch measurements using an AFM with differential laser interferometers for designing usable lateral scales", Measurement Science and Technology, Institute of Physics

三隅伊知子
2006年4月

ナノプローブテクノロジー奨励賞, 「測長原子間力顕微鏡(AFM)を用いたナノ計測標準の確立に貢献」, 日本学術振興会ナノプローブテクノロジー第167委員会

三隅伊知子
2001年9月

ベストプレゼンテーション賞, 「ナノメトロロジカルAFMを用いた一次元グレーティングの校正」, 社団法人精密工学会２００１年度秋季大会学術講演会実行委員会

三隅伊知子

論文

Abbe error correction in atomic force microscopy using scanner-angle measurements

Ryosuke Kizu, Ichiko Misumi

Measurement Science and Technology 2025年10月31日
Distribution measurement of line edge roughness using a noise correction based on height–height correlation function

Ryosuke Kizu, Ichiko Misumi, Akiko Hirai, Satoshi Gonda

Journal of Micro/Nanopatterning, Materials, and Metrology 24(04) 2025年10月2日
LER distribution measurement using HHCF-based noise correction

Ryosuke Kizu, Ichiko Misumi, Akiko Hirai, Satoshi Gonda

Metrology, Inspection, and Process Control XXXIX 13-13 2025年4月24日
AFM observation of EUV photoresist shrinkage due to electron-beam exposure

Ryosuke Kizu, Kazuhiro Kumagai, Ichiko Misumi, Akiko Hirai, Satoshi Gonda

Metrology, Inspection, and Process Control XXXVIII 62-62 2024年4月10日
Evaluation of the change in photoresist sidewall roughness due to electron beam-induced shrinkage using atomic force microscopy

Ryosuke Kizu, Ichiko Misumi, Akiko Hirai, Satoshi Gonda

Journal of Micro/Nanopatterning, Materials, and Metrology 22(04) 2023年12月7日
Developmental framework of line edge roughness reference standards for next-generation functional micro-/nanostructures

Ryosuke Kizu, Ichiko Misumi, Akiko Hirai, Satoshi Gonda, Satoru Takahashi

Precision Engineering 83 152-158 2023年9月
Effect of white noise on roughness measurements of self-affine fractals

Ryosuke Kizu, Ichiko Misumi, Akiko Hirai, Satoshi Gonda, Satoru Takahashi

Measurement Science and Technology 34(10) 105003-105003 2023年7月3日
Photoresist shrinkage observation by a metrological tilting-AFM

Ryosuke Kizu, Ichiko Misumi, Akiko Hirai, Satoshi Gonda

Metrology, Inspection, and Process Control XXXVII 2023年4月27日
Enhancing the precision of 3D sidewall measurements of photoresist using atomic force microscopy with a tip-tilting technique

Ryosuke Kizu, Ichiko Misumi, Akiko Hirai, Satoshi Gonda

Journal of Applied Physics 133(6) 065302-065302 2023年2月14日
Pitch calibration of standard nanoscale for uncertainty reduction of certified reference materials for SEM image sharpness evaluation and magnification calibration

Ichiko Misumi, Kazuhiro Kumagai, Ryosuke Kizu

Surface Topography: Metrology and Properties 10(4) 044010-044010 2022年12月1日
Recent Trends in Contact-Type Aerial Surface Roughness Measurement ―Examples by Using a Metrological Atomic Force Microscope―

伊知子三隅

Journal of Japanese Society of Tribologists 2022年11月15日
Effect of specimen processing for transmission electron microscopy on lattice spacing variation in Si specimens

Keita Kobayashi, Ichiko Misumi, Kazuhiro Yamamoto

Ultramicroscopy 238 113537-113537 2022年8月
High-resolution sidewall observation and LER measurement of a photoresist pattern by a metrological tilting-AFM

Ryosuke Kizu, Ichiko Misumi, Akiko Hirai, Satoshi Gonda

Metrology, Inspection, and Process Control XXXVI 15-15 2022年6月13日
Unbiased line edge roughness measurement using profile-averaging method for precise roughness parameters measurement

Ryosuke Kizu, Ichiko Misumi, Akiko Hirai, Satoshi Gonda

Journal of Micro/Nanopatterning, Materials, and Metrology 21(02) 2022年5月30日
Extension of the probe-tip error evaluation for areal surface roughness measurements using metrological AFM

Ichiko Misumi, Ryosuke Kizu, Kentaro Sugawara, Akiko Hirai, Satoshi Gonda

Measurement: Sensors 18 100092-100092 2021年12月
Research Activities of Nanodimensional Standards Using Atomic Force Microscopes, Transmission Electron Microscope, and Scanning Electron Microscope at the National Metrology Institute of Japan

Ichiko Misumi, Ryosuke Kizu, Hiroshi Itoh, Kazuhiro Kumagai, Keita Kobayashi, Tomoo Sigehuzi

Nanomanufacturing and Metrology 2021年11月4日
Calibration of Step Height Standard Using Metrological Atomic Force Microscope

Ichiko MISUMI

Journal of the Japan Society for Precision Engineering 87(9) 744-747 2021年9月5日
Experimental evaluation of uncertainty in sub-nanometer metrology using transmission electron microscopy due to magnification variation

Keita Kobayashi, Ichiko Misumi, Kazuhiro Yamamoto

MEASUREMENT SCIENCE AND TECHNOLOGY 32(9) 095011-095011 2021年9月
Nanoscale Standards by Metrological AFM and Other Instruments

Ichiko Misumi

2021年5月
Evaluating SEM-based LER metrology using a metrological tilting-AFM

Ryosuke Kizu, Ichiko Misumi, Akiko Hirai, Satoshi Gonda

Metrology, Inspection, and Process Control for Semiconductor Manufacturing XXXV 2021年2月22日

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MISC

ナノ領域トレーサビリティのためのナノスケール標準

大澤尊光, 権太聡, 三隅伊知子, 佐藤理, 菅原健太郎

自動車技術 63(5) 97-102 2009年5月1日
ナノスケールものづくりのためのナノスケール標準

大澤尊光, 権太聡, 三隅伊知子, 佐藤理, 菅原健太郎

計測と制御 = Journal of the Society of Instrument and Control Engineers 47(9) 757-762 2008年9月10日
測長原子間力顕微鏡を用いた段差校正 (特集段差計測)

三隅伊知子, 佐藤理, 菅原健太郎

計測標準と計量管理 57(1) 15-21 2007年5月20日
Final report on Supplementary Comparison APMP.L-S2: Bilateral comparison on pitch measurements of nanometric lateral scales (50 nm and 100 nm) between NMIJ/AIST (Japan) and PTB (Germany)

Ichiko Misumi, Gaoliang Dai, Gwo-Sheng Peng

METROLOGIA 44 2007年
Pitch measurement of 150 nm 1D-Grating standards using an nanometrological atomic force microscope

産総研計量標準報告 3(4) 499-506 2005年
長さ標準にトレーサブルな測長AFMとナノ・メトロロジー用標準スケール

三隅伊知子

砥粒加工学会誌 = Journal of the Japan Society of Grinding Engineers 48(5) 249-252 2004年5月1日
Removing nonlinearity of a homodyne interferometer by adjusting the gains of its quadrature detector systems

産総研計量標準報告 3(3) 365-370 2004年
三次元幾何標準の動向

高辻利之, 土井琢磨, 三隅伊知子, 大澤尊光, 黒澤冨蔵

光学 32(2) 77-81 2003年2月10日
Uncertainty in pitch measurements of one-dimensional grating standards using a nanometrological atomic force microscope

産総研計量標準報告 2(2) 207-215 2003年
Uncertainty in measurements of micro-patterned thin film thickness using Nanometrological AFM - Reliability of parameters for base straight line -

産総研計量標準報告 2(2) 217-222 2003年
測長AFMを用いたマイクロパターン薄膜の厚さ精密測定

三隅伊知子, 権太聡, 黒澤富蔵, 東康史, 藤本俊幸, 小島勇夫, 櫻井稔久, 大見忠弘, 高増潔

精密工学会大会学術講演会講演論文集 2002(2) 602-602 2002年10月1日
一次元グレーティングの持ち回り比較測定・光回析法,測長SEM及び測長AFMを用いて

三隅伊知子, 権太聡, 黒澤富蔵, 谷村吉久, 落合直人, 橘田淳一郎, 窪田文朗, 山田満彦, 藤原喜延, 中山義則 …

精密工学会大会学術講演会講演論文集 2002(1) 740-740 2002年3月1日

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