2021年11月
A novel measurement method for the torque acting on the upper platen in a three-way double-sided lapping/polishing machine
Precision Engineering
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- 巻
- 72
- 号
- 開始ページ
- 891
- 終了ページ
- 898
- 記述言語
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- DOI
- 10.1016/j.precisioneng.2021.08.004
- 出版者・発行元
- Elsevier BV
- ID情報
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- DOI : 10.1016/j.precisioneng.2021.08.004
- ISSN : 0141-6359