PANART KHAJORNRUNGRUANG (Panart Khajornrungruang) - マイポータル

基本情報

所属: 九州工業大学大学院情報工学研究院知的システム工学研究系先進機械部門准教授

学位: 博士（工学）(大阪大学)
修士（工学）(大阪大学)
学士（工学）(大阪大学)

J-GLOBAL ID: 200901017532347236
researchmap会員ID: 5000022443

研究キーワード

主要な研究分野

主要な経歴

2019年 - 現在

九州工業大学, 大学院情報工学研究院知的システム工学研究系先進機械部門, 准教授
2016年 - 2019年

九州工業大学, 大学院情報工学研究院機械情報工学研究系, 准教授
2014年 - 2016年

九州工業大学, 大学院情報工学研究院機械情報工学研究系, 助教
2013年 - 2014年

クラークソン大学（米国）, 特任准教授
2007年 - 2014年

九州工業大学, 情報工学部, 助教
2005年 - 2007年

九州工業大学, 情報工学部, 助手
2002年 - 2005年

大阪大学, 工学部機械工学科, ティーチングアシスタント

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主要な学歴

主要な委員歴

2008年 - 現在

公益社団法人精密工学会, 知的ナノ計測専門委員会
2022年 - 2023年

公益財団法人精密工学会, 2023年度精密工学会秋季大会実行委員・国際シンポジウム委員

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主要な受賞

2024年9月

the IJAT Best Paper Award 2024, Study on a Novel Peeling of Nano-Particle (PNP) Process for Localized Material Removal on a 4H-SiC Surface by Controllable Magnetic Field, Fuji Technology Press Ltd.
2013年6月

工作機械技術振興財団奨励賞, 光回折を用いたＣＭＰ用ポリシングパッドの表面形状評価に関する研究, 公益財団法人工作機械技術振興財団
2003年6月

第13回型技術協会「奨励賞」, レーザ回析法による小径工具切れ刃先端の3次元プロファイル計測, 一般社団法人型技術協会

高谷裕浩, K.パナート, 高橋哲, 三好隆志, 原田孝, 砂金総一郎

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主要な論文

Study on dynamic observation of sub-50 nm sized particles in water using evanescent field with a compact and mobile apparatus

Panart Khajornrungruang, Patrick J. Dean, S. V. Babu

Proceedings - ASPE 2014 Annual Meeting 73-77 2014年査読有り筆頭著者責任著者
Study on Evaluation Method for Polishing Pad Surface Topography Based on Optical Fourier Transform

Panart Khajornrungruang, Keisuke Suzuki, Takashi Kushida, Takahiro Tajiri, Hisanori Matsuo, Yoshihiro Mochizuki, Hirokuni Hiyama, Keiichi Kimura

2014 INTERNATIONAL CONFERENCE ON PLANARIZATION/CMP TECHNOLOGY (ICPT) 205-208 2014年査読有り筆頭著者責任著者
Study on dynamic observation method for fine particles during Chemical Mechanical Polishing using optical transparency micro-patterned pad

Takahiro Oniki, Panrt Khajornrungruang, Keisuke Suzuki

Proceedings of International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st century : LEM21 2015.8 _2108-1_-_2108-5_ 2015年査読有り
Study on evaluation method for polishing pad surface topography based on optical fourier transform

Panart Khajornrungruang, Keisuke Suzuki, Takashi Kushida, Takahiro Tajiri, Hisanori Matsuo, Yoshihiro Mochizuki, Hirokuni Hiyama, Keiichi Kimura

ICPT 2014 - Proceedings of International Conference on Planarization/CMP Technology 2014 205-208 2015年1月20日査読有り筆頭著者責任著者
Non-contact micro cutting tool diameter measurement using laser diffraction

Panart Khajornrungruang, Keiichi Kimura, Hiroshi Suzuki, Keisuke Suzuki

Proceedings of the 8th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century, LEM 2015 2015.8 _1516-1_-_1516-4_ 2015年10月18日査読有り筆頭著者責任著者
Study on non-contact micro tool tip nano-position detection by means of evanescent field penetration depth

Panart Khajornrungruang, Keisuke Suzuki, Tomoki Inoue

European Society for Precision Engineering and Nanotechnology, Conference Proceedings - 18th International Conference and Exhibition, EUSPEN 2018 139-140 2018年査読有り筆頭著者責任著者
3D trajectories and diffusion of single ceria particles near a glass surface and their removal

Jihoon Seo, Akshay Gowda, Panart Khajornrungruang, Satomi Hamada, S. V. Babu

Journal of Materials Research 36(1) 258-267 2020年査読有り
Three-dimensional tracking and height verification of polystyrene particles with piezo actuator positioning by means of multi-wavelength evanescent fields

Aran Blattler, Panart Khajornrungruang, Keisuke Suzuki, Thitipat Permpatdechakul

Proceedings of the 20th International Conference of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology, EUSPEN 2020 53-56 2020年査読有り責任著者
SiC基板上のSiO_2研磨ナノ粒子のBrown運動シミュレーション【JST・京大機械翻訳】|||

SAENNA Soraya, KHAJORNRUNGRUANG Panart, BLATTLER Aran, PERMPATDECHAKUL Thitipat, SUZUKI Keisuke, BAKIER Mohammed A.

Proceedings of International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (Web) 2021.10 353-357 2021年査読有り責任著者
Real-time visualization of the cleaning of ceria particles from silicon dioxide films using PVA brush scrubbing

C. K. Ranaweera, P. Khajornrungruang, S. Hamada, A. Gowda, H. Vegi, J. Seo, S. V. Babu

ECS Journal of Solid State Science and Technology 10(8) 084004-084004 2021年8月1日査読有り
多波長エバネセント場顕微鏡法における100nmポリスチレン粒子の3Dナノスケール追跡の新しい方法-絶対差高さ検証-

Blattler Aran, Khajornrungruang Panart, Suzuki Keisuke, Saenna Soraya

International Journal of Automation Technology 15(6) 831-841 2021年11月査読有り招待有り責任著者
エバネセント場によるエンフォーシングMHz波中の実時間ナノスケール洗浄現象の観測【JST・京大機械翻訳】

Terayama Yutaka, Khajornrungruang Panart, Suzuki Keisuke, Mori Ryotaro, Hamada Satomi, Wada Yutaka, Hiyama Hirokuni

ECS Transactions 108(4) 17-23 2022年5月20日査読有り責任著者

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主要なMISC

161

エバネッセント光を応用した超微粒子洗浄現象の実時間観察に関する研究—第7報：デフォーカスを利用した近接光場領域外の超微粒子の高さ位置測定の試み

黒江紀太, Khajornrungruang Panart, 有馬佑, 濵田聡美, 和田雄高, 檜山浩國

精密工学会学術講演会講演論文集 2024S 688-689 2024年2月28日
ナノスケールにおける加工現象可視化に関する研究—第9報：多波長エバネッセント光による粒子径測定精度の検証

後藤大輝, Permpatdechakul Thitipat, 大内田州伽, 水谷響, Khajornrungruang Panart

精密工学会学術講演会講演論文集 2024S 284-285 2024年2月28日
流れ場におけるナノバブルとナノ粒子の光学的観測による識別法の検討

藤島響, 九冨祥太郎, 後藤大輝, 寺山裕, Khajornrungruang Panart

精密工学会学術講演会講演論文集 2023S 422-423 2023年3月1日
局所磁場制御による基板表面上の浮遊ナノ粒子に寄与する微小力計測に関する研究-多波長エバネッセント光による微小力評価の試み-

PERMPATDECHAKUL Thitipat, KHAJORNRUNGRUANG Panart, SUZUKI Keisuke, DAIKI Goto

精密工学会大会学術講演会講演論文集(CD-ROM) 2023 2023年
エバネッセント光を応用した超微粒子洗浄現象の実時間観察に関する研究—第5報：サブ50nmシリカ超微粒子観測の優位性

寺山裕, カチョーンルンルアンパナート, 鈴木恵友, 森稜太朗, 濵田聡美, 和田雄高, 檜山浩國

精密工学会学術講演会講演論文集 2022S 126-126 2022年3月2日責任著者
ナノスケールにおける加工現象可視化に関する研究—第7報：ステップパターンによるナノ粒子の絶対高さ位置の検証

ブラットラーアラン, カチョーンルンルアンパナート, 鈴木恵友, 馬場昭好

精密工学会学術講演会講演論文集 2021A 588-589 2021年9月8日責任著者
局在光によるナノ研磨現象観測に関する研究—第2報: 4H-SiC基板ポリシングにおけるナノシリカ砥粒挙動可視化の試み

パームパッデーチャークンティティパット, カチョーンルンルアンパナート, 鈴木恵友, 馬場昭好

精密工学会学術講演会講演論文集 2021A 102-103 2021年9月8日責任著者
点滴流量計測小型高精度化の研究

内村護, カチョーンルンルアンパナート, 伊藤高廣, 村上直

精密工学会学術講演会講演論文集 2021A 383-384 2021年9月8日
エバネッセント光を応用した超微粒子洗浄現象の実時間観察に関する研究—第3報：超音波（MHz波）照射時の単一20nm金粒子剥離・再付着挙動

寺山裕, カチョーンルンルアンパナート, 鈴木恵友, 森稜太朗, 濵田聡美, 和田雄高, 檜山浩國

精密工学会学術講演会講演論文集 2021S 314-315 2021年3月3日責任著者
SiC表面上におけるナノ砥粒挙動の数値解析-シリカ砥粒が被ポリシング表面への付着形態-

SAENNA Soraya, KHAJORNRUNGRUANG Panart, SUZUKI Keisuke, BLATTER Aran, PERMPATDECHAKUL Thitipat

精密工学会大会学術講演会講演論文集(CD-ROM) 2021 2021年
CMPの見える化技術へのチャレンジ—Challenge to visualization of CMP phenomena in nanoscale—特集加工現象の見える化

カチョーンルンルアンパナート, パームパッデーチャークンティティパット, 鈴木恵友, ブラットラーアラン

Abrasive technology : 砥粒加工学会誌 : journal of the Japan Society for Abrasive Technology 64(3) 128-131 2020年3月筆頭著者責任著者
作用表面上におけるナノスケール現象の化学的実時間観測に関する研究—第１報：ラマン分光光度計の開発

ドバンタン, カチョーンルンルアンパナート, 鈴木恵友

精密工学会学術講演会講演論文集 2020S 622-623 2020年3月1日責任著者
ナノスケールにおける加工現象可視化に関する研究—第6報：単一ナノ粒子の三次元目変位の検証

ブラットラーアラン, カチョーンルンルアンパナート, 鈴木恵友, パームパッデーチャークンティティパット

精密工学会学術講演会講演論文集 2020S 588-589 2020年3月1日責任著者
Study on Material Removal Phenomena in CMP Process

Keiichi Kimura, Yuichi Hashiyama, Panart Khajornrungruang, Hirokuni Hiyama, Yoshihiro Mochizuki

2007 International Conference on Planarization/CMP Technology (ICPT 2007) 201-205 2007年

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書籍等出版物

半導体製造プロセスを支える洗浄・クリーン化・汚染制御技術

羽深等, 清家善之, 白水好美, 有馬健太, カチョーンルンルアンパナート, 岩本花子, 前田主悦, 山崎克弘, 向井義雄, 長谷川浩史, 松井淳, 金洪杰 (担当:分担執筆, 範囲:エバネッセント光によるウェット条件下でのナノスケール現象の可視化技術)

サイエンス＆テクノロジー 2022年11月29日 (ISBN: 4864282943)

主要な講演・口頭発表等

276

局所磁場制御による基板表面上の浮遊ナノ粒子に寄与する微小力計測に関する研究—第二報多波長エバネッセント光を用いたSiC基板表面付着に要する磁力の見込み

水谷響, Permpatdechakul Thitipat, 後藤大輝, Khajornrungruang Panart

精密工学会学術講演会講演論文集 2024年2月28日公益社団法人精密工学会
SiC表面上におけるナノ砥粒挙動の数値解析—シリカ砥粒が被ポリシング表面への付着形態

Saenna Soraya, Khajornrungruang Panart, 鈴木恵友, Blattler Aran, Permpatdechakul Thitipat

精密工学会学術講演会講演論文集 2021年9月8日公益社団法人精密工学会
エバネッセント光を用いたナノスケール洗浄現象の可視化に関する研究

KHAJORNRUNGRUANG Panart, 寺山裕, 鈴木恵友, 浜田聡美, 和田雄高, 檜山浩國

日本機械学会関東支部総会・講演会講演論文集(CD-ROM) 2020年
近接場光を用いた非接触工具長計測とその散乱光シミュレーション

KHAJORNRUNGRUANG Panart, 鈴木裕, 鈴木恵友, 甲斐雅貴

型技術者会議講演論文集 2020年
近接場光を応用した工具刃先計測の数値シミュレーションによる散乱光特性の評価

荒牧弘親, カチョーンルンルアンパナート, 鈴木恵友, 平佳那子

精密工学会大会学術講演会講演論文集 2019年
連続流体の流量精密計測の研究

武内僚佑, 高市峻佑, 村上直, 伊藤高廣, カチョーンルンルアンパナート

精密工学会学術講演会講演論文集 2018年3月1日公益社団法人精密工学会
ナノスケールにおける加工現象可視化に関する研究—第2報：ナノ単粒子の三次元空間追跡法の提案

Khajornrungruang Panart, 白川裕晃, 鈴木恵友, 堺航也

精密工学会学術講演会講演論文集 2016年3月公益社団法人精密工学会
ナノスケールにおける加工現象可視化に関する研究

精密工学会学術講演会講演論文集 2016年
H13 CMPにおけるウェット条件下のポリシングパッド-ウェハ間の接触状態観察法に関する研究(H1 加工(CMP-1))

岡本英一郎, 木村景一, カチョーンルンルアンパナート

日本機械学会九州支部講演論文集 2009年3月18日一般社団法人日本機械学会

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担当経験のある科目(授業)

システム計測

所属学協会

2015年 - 2020年

The Optical Society of Japan
2008年 - 2018年

ヨロッパ精密工学会
砥粒加工学会
日本機械学会
精密工学会

Works(作品等)

ナノスケール加工現象における作用単粒子の三次元空間追跡法及び粒径計測法の確立

2016年 - 2019年
機上ポリシング加工現象観察装置の開発およびその現象解析

2013年 - 2015年
レーザ一次回折光を用いた超微細穴加工工具の高精度化及び計測システムの開発

2011年 - 2012年
パルスレーザ光を用いた回転工具形状測定装置ならびにシステム

2011年 - 2012年
（AS2311249B）レーザー次回折光を用いた超微細穴加工工具の高精度化及び計測システムの開発

2011年
ArFエキシマレーザ照射援用集積回路金属配線電解めっきおよびエッチング加工の研究

2008年 - 2010年
Study on electro plating and etching for metal interconnect in integrated circuit assisted with ArF excimer laser

2008年 - 2010年
レーザ回折光を利用したオンマシン工具計測装置の開発

2007年 - 2008年

主要な共同研究・競争的資金等の研究課題

ナノスケール加工現象における作用単粒子の三次元空間追跡法及び粒径計測法の確立

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(C) 基盤研究(C) 2016年4月 - 2019年3月

カチョーンルンルアンパナート, 鈴木恵友, 白川裕晃, ブラッドラーアラン, パームパッデーチャークンティティパット
機上ポリシング加工現象観察装置の開発およびその現象解析

日本学術振興会科学研究費助成事業若手研究(B) 若手研究(B) 2013年4月 - 2015年3月

カチョーンルンルアンパナート, 木村景一, 鈴木恵友
ArFエキシマレーザ照射援用集積回路金属配線電解めっきおよびエッチング加工の研究

日本学術振興会科学研究費助成事業若手研究(B) 若手研究(B) 2008年 - 2009年

カチョーンルンルアンパナート, 神崎政人
Dynamical Nano-Particle Visualization in Nano-scale Interfacial

Ordinary Research 2008年

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産業財産権

特開2023-018452 体積測定装置及び体積測定方法

伊藤高廣, カチョーンルンルアンパナート, 内村護
特許第7219944号超近接スイッチ

カチョーンルンルアンパナート, 鈴木恵友, シンソムブーンカウィー, 井上智輝
特開2020-021824 研磨微粒子およびその製造方法

鈴木恵友, パナートカチョーンルンルアン, 水田浩徳, 岡本訓明, 松田修
特許第6650859号半導体基板の表面皮膜の厚さ測定方法

鬼木喬玄, 中利明, 松尾正昭, 田代康典, 鈴木恵友, カチョーンルンルアンパナート
特許第6607607号微粒子の3D位置特定装置及び特定方法

カチョーンルンルアンパナート, 鈴木恵友, 白川裕晃, 堺航也
特許第6590317号液滴量測定装置及び測定方法

伊藤高廣, カチョーンルンルアンパナート, 村上直, 鈴木恵友
特開2019-164205 超近接スイッチ

カチョーンルンルアンパナート, 鈴木恵友, シンソムブーンカウィー, 井上智輝
特許第6465345号研磨パッドの表面性状測定方法および装置

松尾尚典, 望月宣宏, 鈴木恵友, 田尻貴寛, カチョーンルンルアンパナート
特開2018-096748 超近接距離の検知方法及びそれを用いた超近接スイッチ

カチョーンルンルアンパナート, 鈴木恵友, 井上智輝
特開2018-064053 半導体基板の表面皮膜の厚さ測定方法

鬼木喬玄, 中利明, 松尾正昭, 田代康典, 鈴木恵友, カチョーンルンルアンパナート
特開2017-161436 微粒子の3D位置特定装置及び特定方法

カチョーンルンルアンパナート, 鈴木恵友, 白川裕晃, 堺航也
特開2017-072497 液滴量測定装置及び測定方法

伊藤高廣, カチョーンルンルアンパナート, 村上直, 鈴木恵友
特許第6115939号研磨液の性状測定装置

松尾尚典, 望月宣宏, 鈴木恵友, 深川博信, 木村景一, カチョーンルンルアンパナート
特許第6066192号研磨パッドの表面性状測定装置

松尾尚典, 木村景一, 鈴木恵友, カチョーンルンルアンパナート, 櫛田高志
特許第6025055号研磨パッドの表面性状測定方法

松尾尚典, 木村景一, 鈴木恵友, カチョーンルンルアンパナート, 櫛田高志
特開2016-172299 微粒子付着放電電極を用いた放電加工方法及び放電加工装置

鈴木恵友, 副島一紀, カチョーンルンルアンパナート
特開2016-124053 研磨パッドの表面性状測定方法および装置

松尾尚典, 望月宣宏, 鈴木恵友, 田尻貴寛, カチョーンルンルアンパナート
特許第5902932号線状体の直径及びスリットの幅寸法の測定方法

カチョーンルンルアンパナート, 木村景一, 鈴木恵友, 今村誠, 中田太輔, 米倉廣樹
特許第5892591号三次元表面の計測装置及び方法

カチョーンルンルアンパナート, 木村景一, 鈴木恵友
特開2015-013325 精密研磨方法

中利明, 田代康典, 鬼木喬玄, 高田正人, 鈴木恵友, 伊藤高廣, カチョーンルンルアンパナート

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学術貢献活動

学術論文

査読

社会貢献活動

第2回EOI国際シンポジウム

パネリスト, 講師

2019年6月

PANART KHAJORNRUNGRUANG

基本情報

研究キーワード

主要な研究分野

主要な経歴

主要な学歴

主要な委員歴

主要な受賞

主要な論文

主要なMISC

書籍等出版物

主要な講演・口頭発表等

担当経験のある科目(授業)

所属学協会

Works(作品等)

主要な共同研究・競争的資金等の研究課題

産業財産権

学術貢献活動

社会貢献活動

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