特許権 ホールパターン形状評価装置 株式会社日立製作所 池上 貴久, 飯泉 孝 出願番号 特願2001-290530 出願日 2001年9月25日 公開番号 特開2002-176085 公開日 2002年6月21日 特許番号/登録番号 特許第3705179号 登録日 発行日 2005年8月5日 リンク情報 J-GLOBALhttps://jglobal.jst.go.jp/detail?JGLOBAL_ID=201103088254967198URLhttp://jglobal.jst.go.jp/public/201103088254967198 ID情報 J-Global ID : 201103088254967198