特許権 軟X線光源、露光装置および顕微鏡 国立大学法人東北大学 江島 丈雄, 加道 雅孝, 篠原 邦夫, 岸本 牧 出願番号 特願2016-160860 出願日 2016年8月18日 公開番号 特開2019-168477 公開日 2019年10月3日 リンク情報 J-GLOBALhttps://jglobal.jst.go.jp/detail?JGLOBAL_ID=201903006461268847 ID情報 J-Global ID : 201903006461268847