産業財産権

特許権

軟X線光源、露光装置および顕微鏡

国立大学法人東北大学
  • 江島 丈雄
  • ,
  • 加道 雅孝
  • ,
  • 篠原 邦夫
  • ,
  • 岸本 牧

出願番号
特願2016-160860
出願日
2016年8月18日
公開番号
特開2019-168477
公開日
2019年10月3日

リンク情報
J-GLOBAL
https://jglobal.jst.go.jp/detail?JGLOBAL_ID=201903006461268847
ID情報
  • J-Global ID : 201903006461268847