特許権 固体イオン導電体を用いた負イオンビイーム生成方法及びその方法を利用した負イオンビーム生成装置 独立行政法人科学技術振興機構 川田達也, 水崎純一郎, 二唐裕, 藤原幸雄 出願番号 特願2002-239706 出願日 2002年8月20日 特許番号/登録番号 特許第4253813号 登録日 発行日 2009年2月6日
