2009年7月 集積化MEMS技術研究ワークショップポスター賞 社団法人応用物理学会 集積化MEMS技術研究会運営委員会 赤井大輔, 澤田和明, 石田誠 タイトル エピタキシャルγ-Al2O3/Si基板を用いた集積化強誘電体薄膜デバイス
