2008年 Observation of the dopant pileup layer between Ni-FUSI metal gate and SiO2 dielectrics Proc. 9th Asia-Pacific Microscopy Conference (APMC9), Jeju 開始ページ 485 終了ページ 記述言語 英語 掲載種別 研究発表ペーパー・要旨(国際会議) エクスポート BibTeX RIS