篠原正典 (Masanori Shinohara) - マイポータル

基本情報

所属: 福岡大学工学部電気工学科教授

学位: 博士（工学）(東北大学)

J-GLOBAL ID: 200901074178050593
researchmap会員ID: 5000033544

研究キーワード

研究分野

経歴

2009年 - 2011年

長崎大学大学院生産科学研究科システム科学専攻環境システム科学助教
2009年 - 2011年

Assistant Professor,Environmental Systems Science,Environmental Systems Science,System Science,Graduate School of Science and Technology,Nagasaki University
2011年

長崎大学大学院工学研究科電気・情報科学部門助教
2011年

Assistant Professor,Division of Electrical Engineering and Computer Science,Graduate school of Engineering,Nagasaki University
2010年

バーリ大学化学科客員研究員
2010年

Visiting Researcher,University of Bari
2007年 - 2009年

長崎大学工学部電気情報工学講座助教
2007年 - 2009年

Assistant Professor,Electrical and Electronic ,Faculty of Engineering,Nagasaki University
2002年 - 2007年

長崎大学工学部電気電子工学科助手
2002年 - 2007年

Research Associate,Electrical and Electronic Engineering,Faculty of Engineering,Nagasaki University
2004年 - 2005年

ウィスコンシン大学マディソン校客員研究員
2004年 - 2005年

Visiting Researcher,University of Wisconsin-Madison
2003年 - 2004年

東北大学電気通信研究所研究員
2003年 - 2004年

Researcher,Research Institute of Electrical Communication, Tohoku University

委員歴

2009年 - 2011年

表面科学会, 表面科学編集委員
2009年 - 2010年

応用物理学会, 学術講演会現地実行委員
2009年

表面科学会編集委員会
2009年

Society of Japan Surface Science
2004年 - 2006年

プラズマ・核融合学会「プラズマ－物質相互作用の科学」専門委員会プラズマ・核融合学会「プラズマ－物質相互作用の科学」専門委員会委員（2004-2006）
2003年 - 2004年

応用物理学会, プラズマエレクトロニクス分科会幹事
2003年 - 2004年

Society of Applied Phyics, Division of Plasma Electronics, The Japan Society of Applied Physics
2003年

応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会, 国際ワークショップ「プラズマナノテクノロジー」実行委員会幹事

受賞

2007年

日本MRS学会奨励賞

MISC

158

Investigation on Reactions of Hydrogen Plasma with Si surface, using infrared absorption spectroscopy in multiple internal reflection geometry (MIR-IRAS)

M. Shinohara, K. Hara, Y. Takami, Y. Takaki, Y. Matsuda, H. Fujiyama

Proceedings of IC-PLANTS2012 P-57 2012年
Bias Dependent Reactions of a Si(110) Substrate on Irradiation of Hydrogen Plasma

Y. Takami, K. Hara, Y. Takaki, M. Shinohara, Y. Matsuda, H. Fujiyama

Proceedings of Plasma Conference 2011 22P020-O 2011年
Substrate Temperature Effect in the Interaction of Hydrogen Plasma with a Silicon Surface

Kojiro Hara, Yoshiki Takami, Yuya Takaki, Masanori Shinohara, Yoshinobu Matsuda, Hiroshi Fujiyama

Proceedings of Plasma Conference 2011 22P021-O 2011年
Substrate Temperature Effect in the Interaction of Hydrogen Plasma with a Silicon Surface

Kojiro Hara, Yoshiki Takami, Yuya Takaki, Masanori Shinohara, Yoshinobu Matsuda, Hiroshi Fujiyama

Proceedings of Plasma Conference 2011 22P021-O 2011年
Development of Multi Wire Stripper with Line-shaped Magnetron Plasmas

Y. Kobayashi, N. Matsuo, K Miyazaki, S. Nishiyama, M. Shinohara, H. Fujiyama

Proceedings of Plasma Conference 2011 23P001-O 2011年
Wire Temperature in Removal of Brass Plating on Surface of Saw Wire by Coaxial Magnetron Plasmas

Naoshi Matsuo, Yusuke Kobayashi, Shin-ichiro Nishiyama, Masanori Shinohara, Hiroshi Fujiyama

Proceedings of Plasma Conference 2011 23P002-O 2011年
Spectral Analysis of Sputtered Atoms by Optical Emission Spectroscopy

K. Miyazaki, Y. Kobayashi, N. Matsuo, S. Nishiyama, M. Shinohara, H. Fujiyama

Proceedings of Plasma Conference 2011 23P003-O 2011年
Analysis of Atmospheric Pressure Plasma Reaction Process

Katsuhiro Amano, Akihiro Fukae, Masanori Shinohara, Hiroshi Fujiyama

Proceedings of Plasma Conference 2011 22P007-O 2011年
Infrared Spectroscopic Study on Effects of Substrate Temperatures on Oxidation of Amorphous Carbon Films

Yuya TAKAKI, Kojiro HARA, Yoshiki TAKAMI, Masanori SHINOHARA, Yoshinobu MATSUDA, Hiroshi FUJIYAMA

Proceedings of Plasma Conference 2011 24G12 2011年
FINE WIRE STRIPPING BY TRIANGLE-TYPE MAGNETRON PLASMAS

H. Fujiyama, N. Matsuo, Y. Kobayashi, K. Miyazaki, M. Shinohara, S. Nishiyama

Proceedings of International Workshop on Nanotechnology and Applications 2011年
In-situ infrared spectroscopy of oxidation process of amorphous carbon film, depending on substrate temperatures

Masanori Shinohara, Yu-ji Takaki, Ko-jiro Hara, Yoshiki Takami, Yoshinobu Matsuda, Hiroshi Fujiyama

Virtual proceedings of AVS-58 IS-TuP1 2011年
Reaction process of Si surfaces with hydrogen plasm

Ko-jiro Hara, Masanori Shinohara, Yoshiki Takami, Yu-ji Takaki, Yoshinobu Matsuda, Hiroshi Fujiyama

Virtual proceedings of AVS-58 PS-ThuP3 2011年
In-situ Infrared Spectroscopy of Plasma Induced Surface Reactions

M. Shinohara, K. Hara, Y. Takami, Y. Takaki, A. Fukae, K. Amano, Y. Matsuda, H. Fujiyama

Proceedings of AEPSE2011 345 2011年
Fine Wire Stripping by Triangle-type Magnetron Plasmas

H. Fujiyama, N. Matsuo, Y. Kobayashi, M. Shinohara, S. Nishiyama, N. Iwamoto

Proceedings of AEPSE2011 338 2011年
Infrared Spectroscopic Study on a Reaction of Hydrogen Plasma with Si(110) surface

Masanori Shinohara, Ko-jiro Hara, Yoshiki Takami, Yu-ya Takaki, Yoshinobu Matsuda, Hiroshi Fujiyama

Transactions of MRS-Japan 36(3) 491-491 2011年
1. Investigation on Reactions of Hydrogen Plasma with Si surface, using infrared absorption spectroscopy in multiple internal reflection geometry (MIR-IRAS)

M. Shinohara, K. Hara, Y. Takami, Y. Takaki, Y. Matsuda, H. Fujiyama

Proceedingd of IC-PLANTS P57 2011年
Infrared Spectroscopic Study on a Reaction of Hydrogen Plasma with Si(110) surface

Shinohara Masanori, Hara Ko-jiro, Takami Yoshiki, Takaki Yu-ya, Matsuda Yoshinobu, Fujiyama Hiroshi

Transactions of the Materials Research Society of Japan 36(3) 491-491 2011年
1. Investigation on Reactions of Hydrogen Plasma with Si surface, using infrared absorption spectroscopy in multiple internal reflection geometry (MIR-IRAS)

P57 2011年
Difference of deposition process of an amorphous carbon film due to source gases

Masanori Shinohara, Hiroki Kawazoe, Takanori Inayoshi, Taka-aki Kawakami, Yoshinobu Matsuda, Hiroshi Fujiyama, Yuki Nitta, Tatsuyuki Nakatani

THIN SOLID FILMS 518(13) 3497-3501 2010年4月
Difference of deposition process of an amorphous carbon film due to source gases

Masanori Shinohara, Hiroki Kawazoe, Takanori Inayoshi, Taka-aki Kawakami, Yoshinobu Matsuda, Hiroshi Fujiyama, Yuki Nitta, Tatsuyuki Nakatani

THIN SOLID FILMS 518(13) 3497-3501 2010年4月

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講演・口頭発表等

392

水素プラズマ－シリコン結晶の相互作用の基板バイアス効果

プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部第15回支部大会 2011年
水素プラズマによるシリコン結晶のアモルファス化の基板温度依存性

プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部第15回支部大会 2011年
大気圧プラズマでの生成物の解析

プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部第15回支部大会 2011年
エッチングプロセスにおけるスパッタ粒子のスペクトル解析

プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部第15回支部大会 2011年
容量結合RFプラズマ重畳DCマグネトロン放電の放電特性

プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部第15回支部大会 2011年
リトロー型外部共振器半導体レーザーを用いたAr-ICP中気体温度の吸収分光計測

プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部第15回支部大会 2011年
プラズマプロセスの赤外分光解析

電気学会プラズマ研究会 2011年
DLC薄膜のプラズマ酸化過程における基板温度依存性

応用物理学会九州支部学術講演会 2011年
マルチ同軸マグネトロンプラズマを用いたソーワイヤのブラスめっき除去プロセスの開発

応用物理学会九州支部学術講演会 2011年
プラズマストリッピングプロセスにおけるソーワイヤの温度上昇

応用物理学会九州支部学術講演会 2011年
プラズマ気体温度計測用外部共振器型半導体レーザーの製作

応用物理学会九州支部学術講演会 2011年
サーマルプローブのパルス応答による基板入射熱流束の測定

応用物理学会九州支部学術講演会 2011年
Infrared Spectroscopic Study on Effects of Substrate Temperatures on Oxidation of Amorphous Carbon Films

Plasma Conference 2011年
Analysis of Atmospheric Pressure Plasma Reaction Process

Plasma Conference 2011年
Spectral Analysis of Sputtered Atoms by Optical Emission Spectroscopy

Plasma Conference 2011年
Wire Temperature in Removal of Brass Plating on Surface of Saw Wire by Coaxial Magnetron Plasmas

Plasma Conference 2011年
Development of Multi Wire Stripper with Line-shaped Magnetron Plasmas

Plasma Conference 2011年
Substrate Temperature Effect in the Interaction of Hydrogen Plasma with a Silicon Surface

Plasma Conference 2011年
Bias Dependent Reactions of a Si(110) Substrate on Irradiation of Hydrogen Plasma

Plasma Conference 2011年
FINE WIRE STRIPPING BY TRIANGLE-TYPE MAGNETRON PLASMAS

International Workshop on Nanotechnology and Applications 2011年

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所属学協会

Works(作品等)

プラズマ-シリコン表面相互作用で誘起される欠陥生成メカニズムの解明

2010年 - 2012年
「プラズマプロセスの制御によるアモルファス炭素膜の揺らぎのない成膜プロセスの創成

2008年 - 2012年
生体親和性DLC形成メカニズムの解明

2008年 - 2009年
液中プラズマを用いた医療用チューブ内面へのDLCコーティング技術の創成

2008年 - 2009年
ダイヤモンド・ライクカーボン薄膜成長メカニズムの解明

2008年 - 2009年
Investigation of the growth mechanism of bio-compatible DLC films

2008年 - 2009年
表面水素の反応制御によるダイアモンド・ライク・カーボン薄膜のプラズマ化学気相堆積の制御

2007年 - 2008年
赤外分光法を用いたDLC形成メカニズムの解明

2006年 - 2008年
固体壁微小空間における高電離度マイクロプラズマの生成

2006年 - 2008年
「歯科治療用プラズマプロセスの開発」

2006年 - 2008年
チューブの中のプラズマプロセス診断技術と膜堆積技術の創製によるチューブの高機能化

2006年 - 2008年
Investigation of the growth mechanism of DLC film, using infrared spectroscopy

2006年 - 2008年
CVD法によるDLC形成メカニズムの解明

2006年 - 2007年
Investigation of the growth mechanism of DLC films prepared with CVD method

2006年 - 2007年
ハーモニックECRプラズマによる極細管内壁コーティング法の研究

2005年 - 2007年
国際会議(AEPSE2007)開催助成

2007年
国際会議(AEPSE2007)開催助成 (2007.2) 10万円採択

2007年
DLC形成メカニズムの解明

2005年 - 2006年
Investigation of the growth mechanism of DLC film

2005年 - 2006年
ダイヤモンド・ライクカーボン薄膜成長メカニズムの解明

2003年 - 2004年

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共同研究・競争的資金等の研究課題

大気圧プラズマが誘起する反応の解明

科学研究費補助金 2009年 - 2011年
プラズマが誘起するシリコン中の欠陥生成メカニズムの解明

科学研究費補助金 2009年 - 2011年
Analysis of reactinos induced by air-pressure plasma

Grant-in-Aid for Scientific Research 2009年 - 2011年
Analysis of defect-generation in Si induced by plasma

Grant-in-Aid for Scientific Research 2009年 - 2011年
液中プラズマを用いた膜堆積・エッチング

2008年
アモルファス炭素膜の表面修飾法の開発研究

共同研究 2008年
Deposition and etching, using solution plasma

2008年
Sufrace modification of the amorphous carbon films

Cooperative Research 2008年
Low-k膜の成膜・エッチング法の開発研究

共同研究 2002年 - 2003年
The grwoth and etching of Low-k films

Cooperative Research 2002年 - 2003年
プラズマCVD法を用いた炭素系薄膜の堆積過程の赤外分光法による解明

科学研究費補助金 2003年
Inrared study oon plasma CVD process of amorphous carbon film

Grant-in-Aid for Scientific Research 2003年
SiおよびSiC結晶成長に関する研究

科学研究費補助金 1998年 - 2002年
Study on crystal growth of Si and SiC

Grant-in-Aid for Scientific Research 1998年 - 2002年
アモルファス炭素膜の成膜メカニズムの解明

共同研究 2001年
水素プラズマとSi表面水素の相互作用に関する研究

科学研究費補助金 2001年
プラズマ固体表面相互反応の解析

科学研究費補助金 2001年
Interaction on hydrogen plasma with Si surfaces

Grant-in-Aid for Scientific Research 2001年
Surface Reaction During Plasma CVD

Grant-in-Aid for Scientific Research 2001年
パイライト薄膜形成に関する研究

経常研究 1996年 - 1999年

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産業財産権

親水性炭素質膜の製造方法及び製造装置