論文

2018年

Green Surface Cleaning in a Radical Vapor Reactor to Remove Organic Fouling on a Substrate

Electrochemistry
  • Ryota Yamasaki
  • ,
  • Yoshiyuki Takatsuji
  • ,
  • Masayuki Morimoto
  • ,
  • Tatsuya Sakakura
  • ,
  • Keishi Matsuo
  • ,
  • Tetsuya Haruyama

86
6
開始ページ
355
終了ページ
362
記述言語
掲載種別
研究論文(学術雑誌)
DOI
10.5796/electrochemistry.18-00036

リンク情報
DOI
https://doi.org/10.5796/electrochemistry.18-00036
URL
https://www.jstage.jst.go.jp/article/electrochemistry/86/6/86_18-00036/_pdf
ID情報
  • DOI : 10.5796/electrochemistry.18-00036
  • ISSN : 1344-3542
  • eISSN : 2186-2451

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