摩擦摩耗によるエネルギー損失を低減するには、トライボロジーコーティングの耐摩耗性と低摩擦係数の両立が不可欠である。本研究では、工具の超長寿命化及びエネルギー損失低減を実現する自己潤滑性トライボロジーハードコーティングの創成を試みた。その結果、高い硬度を有するTiMoCは、摩耗酸化によるMo酸化物の自己形成潤滑により低摩擦性を示し、その摩擦摩耗特性は成膜圧力に大きく依存する事が分かった。また、その硬度は価電子濃度に依存する事が分かった。更に、(Cr,Al)酸化物について、成膜時の基板温度及び酸素ガス流量を適切に制御する事で、30GPa程度の高硬度を呈するγ相コーティングが実現できる事が分かった。