エネルギー回収型ライナック(ERL)などの次世代型加速器では超伝導空洞がビーム性能を決めるが、ビームライン中の空洞はHe液体温度に保つため、断熱槽に覆われ、空洞の設置精度が外部から正確に測定できない。特にビームの高品質化に伴い、空洞の設置精度への要求が高まる中、極低温への冷却時の空洞変形を極低温下で常時測定することが重要な課題であった。本研究にて、極低温下での空洞変位を白色干渉の原理に基づき、非接触に±5μmの精度で常時測定する装置を新たに開発し、変位の精密測定の元、ERLテスト加速器にて、設置精度に対するビームへの影響の有無を調べ、最終的に6μAのCWビームのエネルギー回収を実現した。