MISC

査読有り
2009年10月

Laser terahertz emission microscope for inspecting interconnect defects in semiconductor devices

  • Masatsugu Yamashita
    • ,
  • Chiko Otani
    • ,
  • Sunmi Kim
    • ,
  • Hironaru Murakami
    • ,
  • Masayoshi Tonouchi
    • ,
  • Toru Matsumoto
    • ,
  • Yoshihiro Midoh
    • ,
  • Katsuyoshi Miura
    • ,
  • Koji Nakamae
    • ,
  • Kiyoshi Nikawa
記述言語
英語
掲載種別
エクスポート
BibTeX RIS
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