羽路伸夫 (Nobuo Haneji) - マイポータル

基本情報

所属: 横浜国立大学大学院工学研究院知的構造の創生部門教授

学位: 工学博士(東京大学)

J-GLOBAL ID: 200901056092443080
researchmap会員ID: 5000052109

外部リンク: http://www.hanelab.ynu.ac.jp/

研究分野

学歴

論文

Preparation of Amorphous Fluorinated Carbon Film Using Low Global-Warming Potential Gas, C4F6, by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition

Hiroki Watanabe, Takumi Tokimitsu, Jyunko Shiga, Nobuo Haneji, Yukihiro Shimogaki

Jap. J. Appl. Phys 45(6) L151-L153 2006年2月査読有り
Electrical and Thermal Stability Characteristics of HfCN Films as Metal Gate-Electrode Synthesized by Metalorganic Chemical Vapor Deposition

Wenwu Wang, Toshihide Nabatame, Nobuo Haneji, Yukihiro Shimogaki

Jap. J. Appl. Phys 44(32) L1019-1021 2005年6月査読有り
Improved Etched Surface Morphology in Electron Cyclotron Resonance-Reactive Ion Etching of GaN by Cyclic Injection of CH4/H2/Ar and O2 with Constant Ar Flow

Taro Arakawa, Yoshiki Awa, Tomoyoshi Ide, Nobuo Haneji, Kunio Tada, Masakazu Sugiyama, Hiromasa Shimizu, Yukihiro Shimogaki, Yoshiaki Nakano

Jap. J. Appl. Phys 44(7B) 5819-5823 2005年6月査読有り
液相堆積シリコン酸化膜／シリコン界面特性の改善

羽路伸夫, ポーンケオ・チャンタマリー, 毛利重信

電気学会論文誌C 123(10) 1695-1699 2003年10月査読有り
Electron cyclotron resonance-reactive ion etching of III-V semiconductors by cyclic injection of CH4/H-2/Ar and O-2 with constant Ar flow

N Haneji, G Segami, T Ide, T Suzuki, T Arakawa, K Tada, Y Shimogaki, Y Nakano

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS 42(6B) 3958-3961 2003年6月査読有り
Electrorefractive properties of modified five-layer asymmetric coupled quantum well (FACQW)

T Arakawa, K Tada, R Iino, T Suzuki, JH Noh, N Haneji, H Feng

MICROELECTRONICS JOURNAL 34(5-8) 387-390 2003年5月査読有り
Kinetic Study on PECVD To Deposit Low-k a-C:F Films Using Appearance Mass Spectrometry

T. Tokimitsu, T. Okamoto, T. Kano, N.Haneji, K. Tada, Y. Shimogaki

2003 MRS Spring meeting 2003年4月査読有り
Fabrication and Optical Characterization of Five-Layer Asymmetric Coupled Quantum Well (FACQW)

T. Suzuki, J.H. Noh, T. Arakawa, K. Tada, Y. Okamiya, Y. Miyagi, N. Sakai, N. Haneji

Jpn. J. Appl. Phys. 41(4B) 2701-2706 2002年6月査読有り
Electron Cyclotron Resonance-Reactive Ion Etching of III-V Semiconductors by Cyclic Injection of CH4/H2/Ar and O2

N. Haneji, G. Segami, K. Ide, T. Suzuki, T. Arakawa, K. Tada, Y. Shimogaki, Y. Nakano

2002 International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2002) 2002年査読有り
Electron cyclotron resonance-reactive ion beam etching of InP by cyclic injection of CH4/H-2/Ar and O-2

T Suzuki, N Haneji, K Tada, Y Shimogaki, Y Nakano

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS 41(1) 15-19 2002年1月査読有り
Silicon Dioxide Film with Low Dielectric Constant Using Liquid-Phase Deposition

P. Chanthamaly, T. Arakawa, N. Haneji

Jpn. J. Appl. Phys. 38(10) 5715-5719 1999年10月査読有り
ECR Reactive Ion Beam Etching of InP by Cyclic Injection of CH4/H2/Ar and O2

T. Suzuki, N. Haneji, K. Tada, M. Sugiyama, Y. Shimogaki, Y. Nakano

2nd Japan-Korea Joint Workshop on Short-Wavelength Semiconductor Optoelectronic Devices and Materials 1999年9月
Synthesis of (Ba,Sr)TiO3 Thin Films by Plasma-Activated Pulsed Laser Deposition Technique

T. Arakawa, N. Arai, H. Yin, H. Kaneda, M. Sugahara, N. Haneji

Jpn. J. Appl. Phys. 38(5A) 2869-2873 1999年5月査読有り
Plasma activated pulsed laser deposition for synthesis of particle-free La2-xSrxCuO4 films

HQ Yin, Y Ueda, T Arakawa, Y Kaneda, T Yoshikawa, N Haneji, M Sugahara

THIN SOLID FILMS 338(1-2) 20-23 1999年1月査読有り
Anomalous Fractional x Dependence of Dielectric Property of c-axis Oriented La2-xSrxCuO4 Film

M. Sugahara, S. Mitani, H.F. Lu, Y. Kumagai, H. Kaneda, N. Haneji, N. Yoshikawa

Science and Engineering of HTC Superconductivity 467-474 1999年査読有り
Theory and Experimental Evidence for Pair FQHE State Caused by Zero-Point Harmonic Oscillation in Block-Layer Potential

M. Sugahara, S. Mitani, H.F. Lu, Y. Kumagai, H. Kaneda, N. Haneji, N. Yoshikawa

Symmetry and Pairing in Superconductors 395-408 1999年査読有り
Evidence of strong relationship between carrier states in fractional quantum-hall effect and in high-temperature superconductivity found in dielectric measurement of La2-xSrxCuO4 film

M Sugahara, HF Lu, HQ Yin, H Kaneda, N Haneji, N Yoshikawa

ADVANCES IN CRYOGENIC ENGINEERING MATERIALS, VOL 44, PTS A AND B 44 739-746 1998年査読有り
Anomalous Hysteretic Dielectric Polarization in c-Axis-Oriented La2-xSrxCuO4 Film

M. Sugahara, H.F. Lu, H.Q. Yin, Y. Kumagai, M. Miyata, H. Kaneda, N. Haneji, N. Yoshikawa

Advances in Superconductivity 1 115-118 1998年査読有り
Anomalous ac dielectric response and carrier state of c-axis oriented La2-xSrxCuO4 films

M Sugahara, SB Wu, XY Han, HF Lu, H Kaneda, N Haneji, N Yoshikawa

PHYSICA C 293(1-4) 216-219 1997年12月査読有り
Oxygen pressure dependence of morphology of La2-xSrxCuO4 ultra-thin films

HQ Yin, T Arakawa, Y Kaneda, T Yoshikawa, N Haneji, M Sugahara

MODERN PHYSICS LETTERS B 11(21-22) 981-987 1997年9月査読有り

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MISC

シリコン酸化膜を水中で作る－室温での液相堆積法

BREAK THROUG 161 7-10 1999年

書籍等出版物

アナログ集積回路設計技術

浅田邦博, 永田穰監修 (担当:共著)

培風館 2003年7月

担当経験のある科目(授業)

共同研究・競争的資金等の研究課題

WLPにおける内蔵キャパシタンス

受託研究（） 2005年10月 - 2007年3月
シリコンゲートスタックに関する研究

その他

WLPにおける内蔵キャパシタンス

2005年10月 - 2005年10月