1999年 シリコン酸化膜を水中で作る－室温での液相堆積法 BREAK THROUG 巻 161 号 開始ページ 7 終了ページ 10 記述言語 日本語 掲載種別 記事・総説・解説・論説等（その他） エクスポート BibTeX RIS
