2002年
Electron Cyclotron Resonance-Reactive Ion Etching of III-V Semiconductors by Cyclic Injection of CH4/H2/Ar and O2
2002 International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2002)
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- 記述言語
- 英語
- 掲載種別
- 研究論文（国際会議プロシーディングス）