共同研究・競争的資金等の研究課題

2005年4月 - 2007年3月

平成17年度実用化のための可能性試験(FS)

未設定  原子状水素を用いたレジスト除去の開発  

担当区分
研究代表者
配分額
(総額)
2,600,000円
(直接経費)
2,000,000円
(間接経費)
600,000円
資金種別
競争的資金