2005年4月 - 2007年3月 平成17年度実用化のための可能性試験(FS) 未設定 原子状水素を用いたレジスト除去の開発 堀邊 英夫 担当区分 研究代表者 配分額 (総額) 2,600,000円 (直接経費) 2,000,000円 (間接経費) 600,000円 資金種別 競争的資金