實方真臣 (Masaomi Sanekata) - マイポータル

基本情報

所属: 東京工芸大学工学部工学科准教授

学位: 博士（理学）(総合研究大学院大学)

ORCID iD: https://orcid.org/0000-0002-7211-1856
J-GLOBAL ID: 200901008377415913
researchmap会員ID: 5000068620

外部リンク: http://www.gen.t-kougei.ac.jp/physics/

高出力パルスマグネトロンスパッタリング(HPPMS)のパルス電力制御・変調によって、成膜速度を犠牲にしないロングパルス電力に耐えうるアークフリー特性に優れたマグネトロンスパッタリングの開発(深振動マグネトロンスパッタリング：DOMS、および大電力インパルスマグネトロンスパッタリング：HiPIMS)を行っています。またそれに付随して、パルス計測に適したレーザー光イオン化共鳴法とリフレクトロン型飛行時間型質量分析計を駆使した世界的にも例のない独自のHPPMSのためのプラズマ診断法の開発を行っています。

研究キーワード

研究分野

経歴

2022年 - 現在

東京工芸大学, 工学部電気電子コース, 准教授
2003年 - 2021年

東京工芸大学, 工学部電気電子コース, 講師
2008年 - 2013年

国士舘大学, 理工学部, 非常勤講師
2001年 - 2003年

日本大学客員研究員
1999年 - 2000年

慶應義塾大学理工学部助手
1995年 - 1999年

日本大学文理学部助手
1994年 - 1995年

岡崎国立共同研究機構分子科学研究所, IMSフェロー

学歴

- 1994年

総合研究大学院大学, 数物科学研究科, 機能分子科学専攻

委員歴

2025年12月 - 現在

厚木市, 厚木市緑を豊かにする審議会委員
2024年4月 - 現在

日本表面真空学会, スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会（SP部会）幹事
2021年11月 - 2023年3月

厚木市教育委員会, 厚木市こども科学賞審査会委員

受賞

1999年

第11回日本MRS学術シンポジウム奨励賞

論文

Compilation and characterization of the visual appearance of alkali metal graphite intercalation compounds

Rika Matsumoto, Masato Oshima, Katsumi Yamada, Tokio Yukiya, Masaomi Sanekata

Carbon Reports 4(3) 201-214 2025年9月1日査読有り最終著者
Saturation Absorption Spectroscopy of Kr in the Near-Infrared Region Using a Hollow Cathode Discharge — Isotopic Shifts —

Katsuki Nomura, Hidetoshi Shimada, Nobuo Nishimiya, Tokio Yukiya, Masaomi Sanekata

Journal of the Physical Society of Japan 94(7) 074302-(10 pages) 2025年7月15日査読有り最終著者
Saturation Absorption Spectroscopy of Kr in the Near-Infrared Region Using a Hollow Cathode Discharge — Hyperfine Structure —

Katsuki Nomura, Hidetoshi Shimada, Nobuo Nishimiya, Tokio Yukiya, Masaomi Sanekata

Journal of the Physical Society of Japan 94(7) 074301-(4 pages) 2025年7月15日査読有り最終著者
Saturated Absorption Spectroscopy for Analyzing 5s[3/2]2 → 5p[5/2]3 Transition of Kr I

Katsuki Nomura, Nobuo Nishimiya, Tokio Yukiya, Masaomi Sanekata

Journal of the Physical Society of Japan (JPSJ) 93 094301-(5 pages) 2024年8月査読有り最終著者
飛行時間質量分析計による高出力パルスマグネトロンスパッタリング(HPPMS)の多成分リアルタイム分析法の開発と展望

實方真臣

SPUTTERING & PLASMA PROCESSES（日本表面真空学会スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会定期研究会講演予稿集） 38(1) 11-19 2023年9月7日招待有り筆頭著者最終著者責任著者
Optical emission spectroscopy in deep oscillation magnetron sputtering (DOMS) of titanium

Eisuke Yokoyama, Masaomi Sanekata, Nobuo Nishimiya, Masahide Tona, Hiroaki Yamamoto, Keizo Tsukamoto, Kiyokazu Fuke, Keijiro Ohshimo, Fuminori Misaizu

Japanese Journal of Applied Physics 62(SL) SL1008-(7 pages) 2023年5月15日査読有り責任著者
Time-of-flight mass spectrometry diagnostics in deep oscillation magnetron sputtering (DOMS) of titanium

M. Sanekata, Y. Nakagomi, M. Hirayama, H. Nishida, N. Nishimiya, M. Tona, H. Yamamoto, K. Tsukamoto, K. Fuke, K. Ohshimo …

Journal of Applied Physics 131(24) 243301-(7 pages) 2022年6月査読有り筆頭著者責任著者
高出力パルスマグネトロンスパッタリングにおけるリフレクトロン型飛行時間質量分析計を用いたプラズマ診断法の開発

實方真臣, 塚本恵三, 美齊津文典

日本質量分析学会誌 70(1) 30-35 2022年3月査読有り招待有り筆頭著者責任著者
Dependence of Optical Emission Spectra on Argon Gas Pressure during Modulated Pulsed Power Magnetron Sputtering (MPPMS)

Masaomi Sanekata, Hiroshi Nishida, Yuki Nakagomi, Yoshihiro Hirai, Nobuo Nishimiya, Masahide Tona, Naoyuki Hirata, Hiroaki Yamamoto, Keizo Tsukamoto, Keijiro Ohshimo …

Plasma 4(2) 269-280 2021年5月査読有り筆頭著者責任著者
Delayed Discharge Bridging Two Sputtering Modes from Modulated Pulsed Power Magnetron Sputtering (MPPMS) to Deep Oscillation Magnetron Sputtering (DOMS)

Masaomi Sanekata, Hiroshi Nishida, Tatsuya Watabe, Yuki Nakagomi, Yoshihiro Hirai, Nobuo Nishimiya, Masahide Tona, Hiroaki Yamamoto, Naoyuki Hirata, Keizo Tsukamoto …

Plasma 4(2) 239-251 2021年4月査読有り筆頭著者責任著者
Time-of-flight mass spectrometric diagnostics for ionized and neutral species in high-power pulsed magnetron sputtering of titanium

Tsukamoto, K., Tamura, T., Matsusaki, H., Tona, M., Yamamoto, H., Nakagomi, Y., Nishida, H., Hirai, Y., Nishimiya, N., Sanekata, M. …

Japanese Journal of Applied Physics 59 SHHB05-(6 pages) 2020年3月査読有り責任著者
微小くし型電極の電場変調吸収分光法への適用

實方真臣

東京工芸大学工学部紀要 40(1) 12-17 2017年6月筆頭著者最終著者責任著者
Electronic and geometric properties of exohedral sodium- and gold-fullerenes

Palpant, B., Negishi, Y., Sanekata, M., Miyajima, K., Nagao, S., Judai, K., Rayner, D.M., Simard, B., Hackett, P.A., Nakajima, A. …

Journal of Chemical Physics 114(19) 2001年査読有り
Physical and chemical interface effects on Mie plasmon absorption of sodium nanoclusters passivated with CH <inf>4-n</inf> Cl <inf>n</inf> ( n=1 -4) molecules

Sanekata, M., Suzuka, I.

Chemical Physics Letters 323(1-2) 2000年査読有り筆頭著者責任著者
Electronic and Geometric structures of metal-silicide clusters

Sanekata, M., Koya, T., Nagao, S., Negishi, Y., Nakajima, A., Kaya, K.

Transactions of the Material Research Society of Japan 2000年査読有り筆頭著者
Optical absorptions of the X-center-type sodium nanoclusters in the gas-aggregation technique with a reactant nozzle

Sanekata, M., Suzuka, I.

Chemical Physics Letters 312(5-6) 1999年査読有り筆頭著者責任著者
Photoelectron spectroscopy of mass-selected metal-water cluster negative ions: Cu^-(H<inf>2</inf>O)<inf>n</inf> and Na^-(H<inf>2</inf>O)<inf>n</inf>

Misaizu, F., Tsukamoto, K., Sanekata, M., Fuke, K.

Surface Review and Letters 3(1) 1996年査読有り
Photodissociation study on Ca⁺(H<inf>2</inf>O)<inf>n</inf>, n=1-6: Electron structure and photoinduced dehydrogenation reaction

Sanekata, M., Misaizu, F., Fuke, K.

Journal of Chemical Physics 104(24) 1996年査読有り筆頭著者
PHOTOELECTRON-SPECTROSCOPY OF MASS-SELECTED COPPER-WATER CLUSTER NEGATIVE-IONS

F MISAIZU, K TSUKAMATO, M SANEKATA, K FUKE

LASER CHEMISTRY 15(2-4) 195-207 1995年査読有り
Reactions of Singly Charged Alkaline-Earth Metal Ions with Water Clusters: Characteristic Size Distribution of Product Ions

Sanekata, M., Misaizu, F., Fuke, K., Iwata, S., Hashimoto, K.

Journal of the American Chemical Society 117(2) 1995年査読有り筆頭著者

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MISC

六段合格を振り返って

實方真臣

神奈川県高齢者剣友会ホームページ（交流コーナー：手記） 2026年1月招待有り筆頭著者責任著者
日本表面真空学会スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会（SP部会）第180回定例研究会，第21回技術交流会【開催報告】

實方真臣, 黒岩雅英

68(4) 257-257 2025年4月10日査読有り
プラズマの分析・計測物理学は愉快だ！～プラズマ分析装置の開発

實方真臣

河合塾みらいぶっく（活躍する研究者／プラズマエレクトロニクス） 2023年3月査読有り招待有り筆頭著者責任著者

講演・口頭発表等

高出力パルスマグネトロンスパッタリングの成膜領域における飛行時間質量分析法を用いたエネルギー分解時間発展計測

小林宏輝, 上村波音, 宮田雅人, 中川悠幹, 横山英佐, 實方真臣, 戸名正英, 山本宏晃, 塚本恵三, 冨宅喜代一, 大下慶次郎, 美齊津文典

第73回応用物理学会春季学術講演会 2026年3月18日
高出力パルスマグネトロンスパッタリングで生成する中性Ti 粒子のレーザー誘起蛍光を用いた成膜領域における時間発展計測

中川悠幹, 沢哲斗, 小林宏輝, 横山英佐, 實方真臣, 戸名正英, 山本宏晃, 塚本恵三, 冨宅喜代一, 大下慶次郎, 美齊津文典

第73回応用物理学会春季学術講演会 2026年3月17日
プラズマ発光分光分析によるマルチパルススパッタリングにおける生成スパッタ粒子のイオン化率特性の解析

横山英佐, 中川悠幹, 小林宏輝, 實方真臣, 戸名正英, 山本宏晃, 塚本恵三, 冨宅喜代一, 大下慶次郎, 美齊津文典

第73回応用物理学会春季学術講演会 2026年3月17日
植物葉への大気圧プラズマ刺激と観測

實方真臣, 田中叶, 中川悠幹, 杉山立志, 乘越亮, 横山英佐, 内田孝幸

第73回応用物理学会春季学術講演会 2026年3月15日
大気圧プラズマ刺激による植物色変化と生体反応に関する研究

實方真臣, 内田孝幸, 杉山立志, 乘越亮, 横山英佐

東京工芸大学色の国際科学芸術研究センター第7回シンポジウム2026 2026年2月21日
MPP電源を用いたHiPIMSおよびm-HiPIMSのスパッタリングプラズマ特性

實方真臣, 竹村大地, 中川悠幹, 小林宏輝, 横山英佐, 戸名正英, 山本宏晃, 塚本恵三, 冨宅喜代一, 大下慶次郎, 美齊津文典

日本表面真空学会スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会(SP部会) 第22回技術交流会 2025年12月16日
Burst HiPIMS (DOMS)のプラズマ放電特性と制御

實方真臣

日本表面真空学会スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会(SP部会)2025年度勉強会 2025年11月20日招待有り
深振動マグネトロンスパッタリングで生成する中性Ti粒子のレーザー誘起蛍光を用いた成膜領域におけるエネルギー分布解析

中川悠幹, 小林宏輝, 横山英佐, 西宮信夫, 實方真臣, 戸名正英, 山本宏晃, 塚本恵三, 冨宅喜代一, 大下慶次郎, 美齊津文典

第86回応用物理学会秋季学術講演会 2025年9月10日
深振動マグネトロンスパッタリングの成膜領域における飛行時間質量分析法を用いたエネルギー分解時間発展計測

小林宏輝, 中川悠幹, 横山英佐, 西宮信夫, 實方真臣, 戸名正英, 山本宏晃, 塚本恵三, 冨宅喜代一, 大下慶次郎, 美齊津文典

第86回応用物理学会秋季学術講演会 2025年9月9日
深振動マグネトロンスパッタリングにおける発光分光分析を用いた生成Ti粒子のイオン化率の解析

横山英佐, 中川悠幹, 小林宏輝, 西宮信夫, 實方真臣, 戸名正英, 山本宏晃, 塚本恵三, 冨宅喜代一, 大下慶次郎, 美齊津文典

第86回応用物理学会秋季学術講演会 2025年9月9日
深振動マグネトロンスパッタリングの成膜領域において生成する中性Ti粒子のレーザー誘起蛍光を用いた速度分布解析

中川悠幹, 小林宏輝, 横山英佐, 西宮信夫, 實方真臣, 戸名正英, 山本宏晃, 塚本恵三, 冨宅喜代一, 大下慶次郎, 美齊津文典

第72回応用物理学会春季学術講演会 2025年3月17日
深振動マグネトロンスパッタリングの成膜領域における飛行時間質量分析法を用いた多成分同時検出エネルギー分布計測

小林宏輝, 中川悠幹, 横山英佐, 西宮信夫, 實方真臣, 戸名正英, 山本宏晃, 塚本恵三, 冨宅喜代一, 大下慶次郎, 美齊津文典

第72回応用物理学会春季学術講演会 2025年3月16日
深振動マグネトロンスパッタリングにおける放電・発光遅延時間計測を用いたガス密度分布診断法の検討

横山英佐, 中川悠幹, 小林宏輝, 西宮信夫, 實方真臣, 戸名正英, 山本宏晃, 塚本恵三, 冨宅喜代一, 大下慶次郎, 美齊津, 東京工芸大, 株)アヤボ, 神戸大, 東北大院理

第72回応用物理学会春季学術講演会 2025年3月16日
IMUセンサを用いた剣道の素振り計測システムの開発

大海悠太, 佳山京圭, 實方真臣

人工知能学会第44回身体知研究会 2024年12月21日
深振動マグネトロンスパッタリングの成膜領域における飛行時間質量分析法を用いた多成分同時検出エネルギー分布計測

小林宏輝, 中川悠幹, 横山英佐, 西宮信夫, 實方真臣, 戸名正英, 山本宏晃, 塚本恵三, 冨宅喜代一, 大下慶次郎, 美齊津文典

日本表面真空学会スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会（SP部会）第21回技術交流会 2024年12月20日
深振動マグネトロンスパッタリングの成膜領域におけるレーザー誘起蛍光の観測

中川悠幹, 小林宏輝, 横山英佐, 西宮信夫, 實方真臣, 戸名正英, 山本宏晃, 塚本恵三, 冨宅喜代一, 大下慶次郎, 美齊津文典

日本表面真空学会スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会（SP部会）第21回技術交流会 2024年12月20日
深振動マグネトロンスパッタリングの制御パルス設計とプラズマ発光分光分析を用いたガス密度分布の解析

横山英佐, 中川悠幹, 小林宏輝, 西宮信夫, 實方真臣, 戸名正英, 山本宏晃, 塚本恵三, 冨宅喜代一, 大下慶次郎, 美齊津文典

日本表面真空学会スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会（SP部会）第21回技術交流会 2024年12月20日
プラズマ～スパッタリングとプラズマ診断～

東京工芸大学公開講座「電気電子が支えるミライ」 2024年12月14日
「プラズマ」とは？そこにある可能性とは？

實方真臣

夢ナビ講義 2024年7月19日招待有り
深振動マグネトロンスパッタリングにおけるプラズマ生成粒子の時間発展計測

實方真臣, 横山英佐, 中川悠幹, 小林宏輝, 西宮信夫, 戸名正英, 山本宏晃, 塚本恵三, 冨宅喜代一, 大下慶次郎, 美齊津文典

第18回分子科学討論会 2024年9月21日

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所属学協会

2022年4月 - 現在

日本真空表面学会
2006年9月 - 現在

分子科学会
2002年2月 - 現在

応用物理学会
1989年4月 - 現在

日本化学会
2018年4月 - 2021年12月

日本分光学会
1995年8月 - 2018年12月

日本物理学会
2004年7月 - 2013年5月

ナノ学会

共同研究・競争的資金等の研究課題

大気圧プラズマ刺激による植物色変化と生体反応に関する研究

東京工芸大学工芸融合研究助成費（重点型） 2025年5月 - 2026年3月

東京工芸大学(研究代表者:實方真臣)、東京農業大学、サレジオ工業高等専門学校
難削材加工用TiAl系コーティングエンドミル量産化の研究開発

安城市令和７年度新安城市ものづくり企業研究開発推進事業補助金 2025年4月 - 2026年2月
難切材加工向け高精度PVDコーティングスクエアエンドミルの研究開発

愛知県 2024年度新あいち創造研究開発補助金 2024年6月 - 2025年3月
高出力パルスマグネトロンスパッタリングの成膜領域における新規イオン密度分光計測法

文部科学省（日本学術振興会）科学研究費補助基盤研究(C) 2021年4月 - 2025年3月

實方真臣(研究代表者)
パンチ・ダイ向け厚膜クロム系硬質皮膜の研究開発

安城市安城市研究開発推進事業補助金 2023年6月 - 2024年2月

實方真臣(研究分担者)
新製品「金型加工用不等分割ボールエンドミル」の開発と販路拡大

愛知県あいち中小企業応援ファンド新事業展開応援助成金 2022年10月 - 2023年9月

實方真臣(研究分担者)
高精度高能率穴加工を実現する魔法角®リーマの設計開発

安城市ものづくり企業研究開発推進事業補助 2019年5月 - 2020年3月

實方真臣(研究分担者)
精密膜厚制御ＰＶＤ法による超高精度穴加工工具の研究開発

愛知県新あいち創造研究開発補助 2017年5月 - 2019年2月

實方真臣(研究分担者)
非線形摂動分光法による金ナノロッドの量子井戸準位間遷移の観測

文部科学省（日本学術振興会）科学研究費補助萌芽研究 2007年4月 - 2009年3月

實方真臣(研究代表者)
金属シリサイドクラスターの微視的合金化過程

文部省（日本学術振興会）科学研究費補助奨励研究（A) 2000年4月 - 2002年3月

實方真臣(研究代表者)
表面プラズモン励起金属ナノクラスターによる光化学反応と量子サイズ効果

文部省（日本学術振興会）科学研究費補助奨励研究（A) 1998年4月 - 2000年3月

實方真臣(研究代表者)

産業財産権

特開2002-66300 クイックカップリングを用いた簡易真空窓枠及び真空装置

茅幸二, 中嶋敦, 實方真臣 (学校法人慶應義塾)

實方真臣