基本情報

所属
東北大学 マイクロシステム融合研究開発センター 教授 (センター長)
学位
博士(工学)(2004年3月 東北大学)

J-GLOBAL ID
200901045497111090
researchmap会員ID
5000070327

外部リンク

2004年東北大学大学院工学研究科機械電子工学専攻博士課程修了。同年、同ナノメカニクス専攻助手。2007年東北大学産学官連携推進本部助教。2010年東北大学マイクロシステム融合研究開発センター准教授。2021年同教授・センター長。MEMSに関する研究に従事しているほか、2010年からは東北大学試作コインランドリの長としてMEMS微細加工共用施設の運営を行う。試作コインランドリの取組に対して、2013年産学官連携功労者表彰経済産業大臣賞受賞。2020年よりMEMS産業化を支援する産学官連携組織「MEMSパークコンソーシアム」代表。


受賞

  9

論文

  59

MISC

  45

書籍等出版物

  4
  • 江刺正喜, 戸津健太郎, 鈴木裕輝夫, 小島明, 池上尚克, 宮口裕, 越田信義 (担当:分担執筆, 範囲:第IV編 その他応用技術 第1章 MEMS技術の微細パターニングへの応用)
    NTS 2017年4月
  • 戸津 健太郎 (担当:分担執筆, 範囲:第2章 マイクロアクチュエータ開発の最前線 第4節 極細径光ファイバー先端駆動形2次元マイクロ光スキャナー)
    NTS 2011年8月
  • 戸津 健太郎 (担当:分担執筆, 範囲:レジスト材料、スピンコーティング、酸化・拡散、洗浄)
    テクノシステム 2009年4月
  • 原山優子, 和賀三和子, 児玉俊洋, 戸津健太郎 (担当:編者(編著者), 範囲:第5章 マイクロ・ナノ・システム・テクノロジー分野における産学連携-現状と課題 pp.126-132,149-152)
    東洋経済新報社 2003年4月24日

講演・口頭発表等

  43

所属学協会

  5

共同研究・競争的資金等の研究課題

  9

産業財産権

  8