川原 潤
カワハラ ジュン (JUN KAWAHARA)
更新日: 2005/03/07
基本情報
- 所属
- 広島大学 大学院先端物質科学研究科 半導体集積科学専攻 大学院生（博士課程）
- 学位
-
修士（工学）(東京工業大学)
- J-GLOBAL ID
- 200901044148302494
- researchmap会員ID
- 5000071840
研究キーワード
2MISC
4-
Plasma Sources Science and Technology Vol. 12, pp. S80-S88 2003年
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Plasma Sources Science and Technology Vol. 12, pp. S80-S88 2003年
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Japanese Journal of Applied Physics Vol40, p. 2341 2001年
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Japanese Journal of Applied Physics Vol40, p. 2341 2001年
所属学協会
1共同研究・競争的資金等の研究課題
1-
2004年 - 2006年