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森本 達郎
モリモト タツオ (MORIMOTO TATSUO)
更新日: 2018/02/06
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研究キーワード
研究分野
学歴
共同研究・競争的資金等の研究課題
基本情報
所属
東北大学
未来科学技術共同研究センター 助教
J-GLOBAL ID
200901080864516973
researchmap会員ID
5000078411
研究キーワード
3
露光装置
フォトマスク
半導体回路
研究分野
1
ものづくり技術(機械・電気電子・化学工学) / 電子デバイス、電子機器 /
学歴
1
- 2004年3月
東北大学, 工学研究科, 電子工学専攻
共同研究・競争的資金等の研究課題
2
瞬時マスク描画システムの研究
2004年4月 - 現在
レーザー描画基礎技術の研究開発
その他の研究制度 2005年8月 - 2008年3月
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