村中司 (Muranaka Tsutomu) - マイポータル

基本情報

所属: 山梨大学大学院　総合研究部　工学域電気電子情報工学系（基礎教育センター）教授

学位: Ph.D. in Engineering(Hokkaido University)
博士（工学）(北海道大学)

研究者番号: 20374788
ORCID iD: https://orcid.org/0000-0003-4825-6614
J-GLOBAL ID: 200901010233948148
Researcher ID: A-4051-2009
researchmap会員ID: 5000079740

外部リンク: https://muranaka-laboratory.yamanashi.ac.jp/

研究キーワード

半導体工学、結晶工学、固体電子デバイス、半導体ナノ構造、II-VI族化合物および関連材料

研究分野

ものづくり技術（機械・電気電子・化学工学） / 電気電子材料工学 / 電子・電気材料工学

学歴

受賞

2004年9月

講演奨励賞, ECR-RIBEを用いた窒化ガリウム系ナノ構造の作製とそのデバイス応用, 応用物理学会

北大量エレ研, 電子情報, 橋詰保, 長谷川英機

論文

Research on Dielectric Breakdown Voltage and Electric Field Strength at Triple Junctions on Insulating Substrates for Power Modules

Motohito Hori, Yoshinari Ikeda, Tomoyuki Yamazaki, Tsutomu Muranaka, Yoichi Nabetani

Journal of The Japan Institute of Electronics Packaging 26(1) 167-171 2023年1月1日
Minimizing Thermal Imbalance of RC-IGBT by Bonding Technology

Hayato Nakano, Tsutomu Muranaka, Yoichi Nabetani

IEEJ Journal of Industry Applications 11(6) 771-778 2022年11月1日
Relationship between Electric Field Strength Distribution and Dielectric Breakdown Points in Insulating Substrates of Power Modules

Motohito Hori, Katsumi Taniguchi, Yuichiro Hinata, Mai Saitou, Yoshinari Ikeda, Tomoyuki Yamazaki, Tsutomu Muranaka, Yoichi Nabetani

IEEJ Transactions on Fundamentals and Materials 142(7) 328-334 2022年7月1日
Characterization of thin films from reflection and transmission ellipsometric parameters

Lianhua Jin, Sota Mogi, Tsutomu Muranaka, Eiichi Kondoh, Bernard Gelloz

Japanese Journal of Applied Physics 61(1) 018004-018004 2022年1月1日
Improvement of Thermal Resistance by Cooling Effect of RC-IGBT Non-operative Region

Hayato Nakano, Tsutomu Muranaka, Yoichi Nabetani

IEEJ Transactions on Industry Applications 141(11) 889-894 2021年11月1日
Roll-to-toll Growth of Ga-doped ZnO Transparent Conducting Films by Using Plasma-assisted Molecular Beam Deposition

T. Muranaka, Y. Tsuchiya, T. Aoki, N. Onojima, T. Matsumoto, S. Hiraki, H. Kono, K. Kijima, S. Hagihara

Extended Abstracts of the 2019 International Conference on Solid State Devices and Materials 2019年9月5日査読有り筆頭著者
Effects of Ga Doping and Substrate Temperature on Electrical Properties of ZnO Transparent Conducting Films Grown by Plasma-Assisted Deposition

Matsumoto Takashi, Mizuguchi Keiichi, Horii Takahiro, Sano Shiho, Muranaka Tsutomu, Nabetani Yoichi, Hiraki Satoshi, Furukawa Hideaki, Fukasawa Akihiro, Sakamoto Shingo …

Jpn J Appl Phys 50(5) 05FB13-05FB13 2011年5月20日
Structural and optical properties of ZnSe-based diluted magnetic semiconductor quantum-well wire arrays by wet chemical etching

Tsutomu Muranaka, Suguru Iizuka, Masao Hishikawa, Kazuki Kodama, Kenta Ohmori, Yoichi Nabetani, Takashi Matsumoto

physica status solidi (c) 7(6) 1648-1650 2010年4月14日査読有り
Tunneling of spin polarized excitons in ZnCdSe and ZnCdMnSe coupled double quantum wells

Kenta Ohmori, Kazuki Kodama, Tsutomu Muranaka, Yoichi Nabetani, Takashi Matsumoto

physica status solidi (c) 7(6) 1642-1644 2010年4月1日査読有り
XRD characterization of ZnO layers grown on GaAs(111)B, c-plane and a-plane sapphire substrates by plasma-assisted MBE

Muranaka, T., Sakano, T., Mizuguchi, K., Nabetani, Y., Akitsu, T., Matsumoto, T., Hagihara, S., Abe, O., Hiraki, S., Fujikawa, Y.

Physica Status Solidi (C) Current Topics in Solid State Physics 7(6) 2010年
M B E growth and magneto-optical properties of ZnCdSe-ZnMnSe wire systems

Matsumoto, T., Omori, K., Nakamura, K., Muranaka, T., Nabetani, Y.

Physica Status Solidi (C) Current Topics in Solid State Physics 6(5) 1339-1342 2009年5月
Growth of Ge and P codoped p-type CuInS<inf>2</inf> bulk crystals

Kato, T., Yamaguchi, H., Muranaka, T., Nabetani, Y., Matsumoto, T.

Physica Status Solidi (C) Current Topics in Solid State Physics 6(5) 1034-1037 2009年5月査読有り
Temperature dependence of the band gap of ZnSe1-x Ox

Broesler, R., Haller, E.E., Walukiewicz, W., Muranaka, T., Matsumoto, T., Nabetani, Y.

Applied Physics Letters 95(15) 2009年
Dependence of In<inf>2</inf>Se<inf>3</inf> crystal structures grown on GaAs (0 0 1) substrates on growth temperature and VI/III ratio

Kato, T., Utsugi, Y., Ohara, T., Muranaka, T., Nabetani, Y., Matsumoto, T.

Journal of Crystal Growth 311(3) 2009年
Doping Profiles and Nanostructural Properties of Molecular-Beam-Deposited GZO Thin Films on Glass Substrates

T. Muranaka, T. Uehara, T. Sakano, Y. Nabetani, T. Akitsu, T. Kato, T. Matsumoto, S. Hagihara, O. Abe, S. Hiraki …

Journal of the Korean Physical Society 53(9(5)) 2897-2900 2008年11月15日
Magneto-Optical Properties of ZnMnSe-ZnSe-ZnCdSe Quantum Structures

Tsutomu Muranaka

Journal of the Korean Physical Society 53(5 PART 2) 2008年11月15日
Electrical and optical properties of Ga-doped ZnO films grown on glass and plastic substrates by using plasma-assisted deposition

Muranaka, T., Nisii, A., Uehara, T., Sakano, T., Nabetani, Y., Akitsu, T., Kato, T., Matsumoto, T., Hagihara, S., Abe, O. …

Journal of the Korean Physical Society 53(5 PART 2) 2947-2950 2008年11月15日
Fabrication of AlGaN/GaN Quantum Nanostructures by Methane-Based Dry Etching and Characterization of Their Electrical Properties

Hasegawa Hideki, Muranaka Tsutomu, Kasai Seiya, Hashizume Tamotsu

Japanese journal of applied physics. Pt. 1, Regular papers & short notes 42(4 B) 2375-2381 2003年
Molecular beam epitaxy growth mechanism and wire width control for formation of dense networks of narrow InGaAs quantum wires

Jiang, C., Muranaka, T., Hasegawa, H.

Microelectronic Engineering 63(1-3) 2002年
Structural and Optical Properties of InGaAs Ridge Quantum Wire Arrays with Sub-micron Pitches Grown by Selective MBE on InP Substrates.

Jiang Chao, Muranaka Tsutomu, Hasegawa Hideki

Japanese Journal of Applied Physics 41(4 B) 2683-2688 2002年

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MISC

GaAs(001)基板上へのγ-In_2Se_3のMBE成長

宇津木康史, 高木聡, 大原健, 村中司, 鍋谷暢一, 松本俊, 加藤孝正

日本結晶成長学会誌 33(4) 275-275 2006年11月30日
MBE選択成長法によるInP系量子細線ネットワークの高密度集積化

福士哲夫, 木村健, 村中司, 長谷川英機

電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス 103(630) 17-22 2004年1月22日
InGaAsリッジ量子細線ネットワーク構造形成とそのデバイス応用

村中司, 伊藤章, 江潮, 長谷川英機

電子情報通信学会技術研究報告. ED, 電子デバイス 101(618) 53-58 2002年1月22日
Structural and Optical Properties of 10nm-Class InGaAs Ridge Quantum Wire Arrays with Sub-Micron Pitches Grown by Selective MBE on Patterned InP Substrate

JIANG Chao, MURANAKA Tsutomu, HASEGAWA Hideki

Extended abstracts of the ... Conference on Solid State Devices and Materials 2001 318-319 2001年9月25日
MBE選択成長によるInGaAsリッジ量子構造の作製とそのデバイス応用

村中司, 伊藤章, 江潮, 長谷川英機

電子情報通信学会技術研究報告. ED, 電子デバイス 100(641) 17-23 2001年2月21日
Ridge Uniformity Improvement Toward Growth of Sub-10nm InGaAs Ridge Quantum Wires by Selective MBE on Patterned InP Substrate

JIANG Chao, MURANAKA Tsutomu, HASEGAWA Hideki

Extended abstracts of the ... Conference on Solid State Devices and Materials 2000 328-329 2000年8月28日
MBE選択成長InGaAsリッジ量子細線の微細構造評価

江潮, 藤倉序章, 村中司, 長谷川英機

電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス 99(617) 93-100 2000年2月9日
C-10-12 MBE選択成長によるInGaAs結合量子構造の形成

藤倉序章, 江潮, 村中司, 長谷川英機

電子情報通信学会ソサイエティ大会講演論文集 1999(2) 49-49 1999年8月16日

講演・口頭発表等

フレキシブルPET基板上にプラズマ支援分子線堆積したGZO透明導電膜の結晶構造評価

佐藤陽平, 村中司, 鍋谷暢一, 松本俊

第4回結晶工学xISYSE合同研究会 2021年12月23日応用物理学会結晶工学分科会・電子材料若手交流会
フレキシブルPET基板上GZO透明導電膜のプラズマ支援分子線堆積における添加ガス効果

佐野準之助, 村中司, 鍋谷暢一, 松本俊

第4回結晶工学xISYSE合同研究会 2021年12月23日応用物理学会結晶工学分科会・電子材料若手交流会
ロール・ツー・ロール式プラズマ支援堆積法によるGZO透明導電膜形成

村中司

SEMICON JAPAN 2021, Academia 2021年12月15日 SEMI
プラズマ支援分子線堆積法によるフレキシブル基板上へのGZO透明導電膜の形成と評価 (7)

幅田雅也, 佐野準之助, 佐藤陽平, 村中司, 鍋谷暢一, 松本俊

第82回応用物理学会秋季学術講演会 2021年9月23日応用物理学会
プラズマ支援分子線堆積法によるフレキシブル基板上へのGZO透明導電膜の形成と評価 (6)

佐野準之助, 佐藤陽平, 井出雄太, 吉田千博, 村中司, 鍋谷暢一, 松本俊

第68回応用物理学会春季学術講演会 2021年3月19日応用物理学会
ロール・ツー・ロール方式によるプラズマ支援堆積GZO透明導電膜の作製と評価

村中司, 榊原守章, 土屋雄平, 青木泰雅, 野村航平, 平木哲

表面技術協会第143回講演大会 2021年3月4日表面技術協会招待有り
プラズマ支援分子線堆積法によるフレキシブル基板上へのGZO透明導電膜の形成と評価 (5)

佐藤陽平, 中田耕輔, 宮下周大, 村中司, 鍋谷暢一, 松本俊

第81回応用物理学会秋季学術講演会 2020年9月9日応用物理学会
プラズマ支援分子線堆積法によるフレキシブル基板上へのGZO透明導電膜の形成と評価 (4)

村中司, 山崎知夢, 佐藤陽平, 中田耕輔, 鍋谷暢一, 松本俊

第67回応用物理学会春季学術講演会 2020年3月15日応用物理学会
ロール・ツー・ロール式プラズマ支援堆積法によるGZO透明導電膜形成

村中司

SEMICON JAPAN 2019, Academia 2019年12月11日 SEMI
GZO透明導電膜のロール・ツー・ロール成長条件の検討

野村航平, 青木泰雅, 村中司, 鍋谷暢一, 松本俊, 平木哲

第2回結晶工学xISYSE合同研究会 2019年11月20日応用物理学会結晶工学分科会・電子材料若手交流会
PET基板上GZO透明導電膜の作製および評価

宮下周大, 野村航平, 佐藤陽平, 村中司, 鍋谷暢一, 松本俊

第2回結晶工学xISYSE合同研究会 2019年11月20日応用物理学会結晶工学分科会・電子材料若手交流会
PET基板上GZO透明導電膜の曲げ測定評価

山崎知夢, 中田耕輔, 渡辺三志郎, 村中司, 鍋谷暢一, 松本俊

第2回結晶工学xISYSE合同研究会 2019年11月20日応用物理学会結晶工学分科会・電子材料若手交流会
ロール・ツー・ロール方式によるGZO透明導電膜のプラズマ支援堆積 (2)

村中司, 土屋雄平, 青木泰雅, 小野島紀夫, 鍋谷暢一, 松本俊, 平木哲, 木島一広, 中村卓, 阿部治, 河野裕, 萩原茂

第80回応用物理学会秋季学術講演会 2019年9月18日応用物理学会
Roll-to-toll Growth of Ga-doped ZnO Transparent Conducting Films by Using Plasma-assisted Molecular Beam Deposition

T. Muranaka, Y. Tsuchiya, T. Aoki, N. Onojima, T. Matsumoto, S. Hiraki, H. Kono, K. Kijima, S. Hagihara

2019 International Conference on Solid State Devices and Materials 2019年9月5日 The Japan Society of Applied Physics
プラズマ支援分子線堆積法によるフレキシブル基板上へのGZO透明導電膜の形成と評価 (3)

村中司, 小野裕俊, 寺田佳史, 渡辺三志郎, 鍋谷暢一, 松本俊

第66回応用物理学会春季学術講演会 2019年3月12日応用物理学会
ロール・ツー・ロール方式によるGZO透明導電膜のプラズマ支援堆積

村中司, 土屋雄平, 榊原守章, 小野島紀夫, 鍋谷暢一, 松本俊, 平木哲, 河野裕, 木島一広, 吉村千秋, 萩原茂

第65回応用物理学会春季学術講演会 2018年3月19日応用物理学会
安価な透明導電膜と省スペース対応成膜装置(やまなし薄膜技術開発)

平木哲, 村中司

"WORLD OF IOT" in SEMICON JAPAN 2017 2017年12月14日 SEMI
ロール・ツー・ロール式プラズマ支援堆積法によるGZO透明導電膜形成

村中司

SEMICON JAPAN 2019, Academia 2017年12月11日 SEMI
レアメタルレス透明導電膜製造装置とその応用製品の販売(やまなし薄膜技術開発)

平木哲, 村中司

"NEDOドリームピッチ" in イノベーションリーダーズサミット 2017 2017年10月24日 TOKYOイノベーションリーダーズサミット実行委員会招待有り
高透過率、フレキシブルおよびレアメタルレス透明導電膜とその成膜装置(やまなし薄膜技術開発)

平木哲, 村中司

2017 FLEX Japan 2017年4月11日 SEMI

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所属学協会

主要な共同研究・競争的資金等の研究課題

原子状酸素支援分子線エピタキシー法による酸化亜鉛半導体フレキシブルデバイスの開発

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(C) 基盤研究(C) 2016年4月 - 2019年3月

村中司, 鍋谷暢一
極薄アルミナ絶縁ゲートを有する酸化亜鉛薄膜トランジスタの開発

日本学術振興会科学研究費助成事業若手研究(B) 若手研究(B) 2009年 - 2011年

村中司
プラズマ支援分子線エピタキシ法形成ZnOナノ薄膜トランジスタの開発

科学技術振興機構地域イノベーション創出総合支援事業重点地域研究開発推進プログラムシーズ発掘試験 A:発掘型 2009年7月 - 2010年3月

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産業財産権

特許第6306437号縦型成膜装置(ロール・ツー・ロール垂直搬送水平成膜方式による小型機能性薄膜製造装置)

松本俊, 村中司, 小野島紀夫, 萩原茂, 河野裕, その他

社会貢献活動

第27回結晶工学スクール講義「分子線エピタキシャル法（実践編）」

講師, 助言・指導, 運営参加・支援

公益社団法人応用物理学会結晶工学分科会第27回結晶工学スクール（2021年） web 開催 2021年8月3日 - 2021年8月5日
2021年度液体窒素利用者講習会

講師, 企画, 実演

山梨大学機器分析センター山梨大学/オンライン開催 2021年5月10日 - 2021年5月11日
2020年度山梨大学出前講義(工学部)「高機能酸化物半導体のウェアラブル・フレキシブルデバイス応用」

講師, 企画, 実演

山梨大学/山梨県立甲府東高等学校山梨県立甲府東高等学校 2020年10月12日 - 2020年10月12日
第26回結晶工学スクール講義「分子線エピタキシャル法（実践編）」

講師, 助言・指導, 運営参加・支援

公益社団法人応用物理学会結晶工学分科会第26回結晶工学スクール（2020年） web 開催 2020年9月14日 - 2020年9月16日
2020年度液体窒素利用者講習会

講師, 企画, 実演

山梨大学機器分析センター山梨大学/オンライン開催 2020年6月29日 - 2020年6月29日
2019年度山梨大学出前講義(工学部)「高機能酸化物半導体のウェアラブル・フレキシブルデバイス応用」

講師, 企画, 実演

山梨大学/山梨県立甲府西高等学校山梨県立甲府西高校 2019年12月13日 - 2019年12月13日
2019年度液体窒素利用者講習会

講師, 企画, 実演

山梨大学機器分析センター/岩谷産業山梨大学 2019年5月10日 - 2019年8月13日
平成３１年度「山梨県下高校生への公開授業」

講師, 企画, 実演

山梨大学山梨大学 2019年8月8日 - 2019年8月8日
第25回結晶工学スクール講義「分子線エピタキシャル法（実践編）」

講師, 助言・指導, 運営参加・支援

公益社団法人応用物理学会結晶工学分科会第25回結晶工学スクール（2019年）大阪大学吹田キャンパスコンベンションセンター会議室３ 2019年7月23日 - 2019年7月23日
第24回結晶工学スクール講義「分子線エピタキシャル法（実践編）」

講師, 助言・指導, 運営参加・支援

公益社団法人応用物理学会結晶工学分科会第24回結晶工学スクール（2018年）東京農工大学小金井キャンパス新１号館１階グリーンホール 2018年7月31日 - 2018年8月2日

メディア報道

2018年度山梨大学(甲府キャンパス) 液体窒素利用者講習会

山梨大学機器分析センター山梨大学(甲府キャンパス) 2018年5月14日その他
2017年度山梨大学(甲府キャンパス) 液体窒素利用者講習会

山梨大学機器分析センター山梨大学(甲府キャンパス) 2017年5月15日その他
2016年度山梨大学(甲府キャンパス) 液体窒素利用者講習会

山梨大学機器分析センター山梨大学(甲府キャンパス) 2016年5月16日その他

村中司

基本情報

研究キーワード

研究分野

学歴

受賞

論文

MISC

講演・口頭発表等

所属学協会

主要な共同研究・競争的資金等の研究課題

産業財産権

社会貢献活動

メディア報道

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