基本情報

所属
国立研究開発法人産業技術総合研究所 ナノエレクトロニクス研究部門 テクニカルスタッフ
学位
博士(工学)(筑波大学)

J-GLOBAL ID
200901024245239461
researchmap会員ID
5000086588

【経歴】2003年筑波大学大学院工学研究科博士課程修了、産業技術総合研究所・博士研究員、米国ノースカロライナ州立大学・博士研究員、東北大学原子分子材料科学高等研究所・助教、同大学未来科学技術共同研究センター助教を経て、産業技術総合研究所ナノエレクトロニクス研究部門・テクニカルスタッフ(現職)。
【専門】半導体プロセス、ナノエレクトロニクスと化学物理。最近は、原子層堆積法(ALD)とナノ粒子のデバイス応用の研究にも取り組んでいる。

論文

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