高橋正春 (Masaharu Takahashi) - マイポータル

基本情報

所属: 独立行政法人産業技術総合研究所集積マイクロシステム研究センター

J-GLOBAL ID: 200901059264492010
researchmap会員ID: 5000086666

外部リンク: http://www.aist.go.jp/RESEARCHERDB/cgi-bin/worker_detail.cgi?call=namae&rw_id=M31543301

研究キーワード

ナノインプリント先端微細加工技術リソグラフィ実装技術 MEMS

研究分野

MISC

A study on focused ion beam milling of glassy carbon molds for the thermal imprinting of quartz and borosilicate glasses

Sung Won Youn, Masaharu Takahashi, Hiroshi Goto, Ryutaro Maeda

JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING 16(12) 2576-2584 2006年12月
The effect of heat-treatment conditions on mechanical and morphological properties of a FIB-milled glassy carbon mold with micro patterns

S. W. Youn, M. Takahashi, H. Goto, T. Kobayashi, R. Maeda

JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING 16(7) 1277-1284 2006年7月
研削加工によるカーボン型を用いたガラス材料の大面積マイクロ成形

高橋正春, 前田龍太郎

塑性と加工 47(549) 963-967 2006年
FIB加工によるカーボン型を用いた石英ガラスのマイクロ･ナノ成形

高橋正春, 前田龍太郎, 杉本公一

塑性と加工 47(549) 958-962 2006年
研削加工型による石英ガラスのホットエンボス成形

塑性加工連合講演会講演論文集 56 585-586 2005年
MEMS Foundry in AIST -Speedy Realization of New Ideas-

Proceedings of the 21st Sensor Symposium 397-400 2004年
Micro/Nano 3D Structurine of Glassy Carbon by FIB for Hot Embossing of Glass Materials

KOREA-JAPAN JOINT SYMPOSIUM ON NANOENGINEERING 2003 272-275 2003年
熱間圧延によるAZ91合金粉末の固化成形と機械的性質

松崎邦男, 高橋正春, 佐野利男

粉体および粉末冶金 49(3) 178-182 2002年
電磁力を利用した動的粉末成形法の研究

村越庸一, 高橋正春, 花田幸太郎, 佐野利男, 根岸秀明

粉体及び粉末冶金 48(6) 565-570 2001年

高橋正春

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