2002年
触媒化学気相成長法による1 mサイズ基板上への均一堆積技術開発
真空
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- 巻
- 45
- 号
- 3
- 開始ページ
- 123
- 終了ページ
- 126
- 記述言語
- 日本語
- 掲載種別
- DOI
- 10.3131/jvsj.45.123
- リンク情報
- ID情報
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- DOI : 10.3131/jvsj.45.123
- ISSN : 0559-8516
- CiNii Articles ID : 10008202767
- SCOPUS ID : 0036062324