研究キーワード

MEMS MEMSデバイス低消費電力センサ Power MEMS マイクロリアクタ

研究キーワードが「MEMS MEMSデバイス低消費電力センサ Power MEMS マイクロリアクタ」である研究者

ザンイ

張毅

Yi Zhang

独立行政法人産業技術総合研究所

集積マイクロシステム研究センター大規模インテグレーション研究チーム

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