吉野雄信 (Takenobu Yoshino) - マイポータル - researchmap

基本情報

所属: 独立行政法人産業技術総合研究所次世代半導体研究センター

J-GLOBAL ID: 200901060451870557
researchmap会員ID: 5000087487

外部リンク: http://www.aist.go.jp/RESEARCHERDB/cgi-bin/worker_detail.cgi?call=namae&rw_id=T11202735

MISC

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Transient capacitance spectroscopy of copper-ion-drifted methylsilsesquiazane-methylsilsesquioxane interlayer dielectrics

T Yoshino, N Hata, T Kikkawa

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS 43(12) 8026-8027 2004年12月
Evaluation of Copper Ion Drift in Low-Dielectric-Constant Interlayer Films by Transient Capacitance Spectroscopy

MATERIALS RESEARCH SOCIETY SYMPOSIUM PROCEEDINGS 766 217-222 2003年