加藤宙光 (Hiromitsu Kato) - マイポータル

基本情報

所属: 独立行政法人産業技術総合研究所上級主任研究員 (Chief Senior Researcher)

J-GLOBAL ID: 200901052146369772
researchmap会員ID: 5000087543

外部リンク: http://www.aist.go.jp/RESEARCHERDB/cgi-bin/worker_detail.cgi?call=namae&rw_id=H03036254

研究分野

ものづくり技術（機械・電気電子・化学工学） / 電気電子材料工学 /

経歴

2003年4月 - 現在

産業技術総合研究所, 上級主任研究員
2011年11月 - 2013年3月

Fraunhofer IAF研究所客員研究員
2000年4月 - 2003年3月

日本学術振興会特別研究員 DC1

論文

175

Fabrication of inversion channel diamond MOSFET with atomically step-free Al<inf>2</inf>O<inf>3</inf>/diamond interface

Kazuki Kobayashi, Kai Sato, Hiromitsu Kato, Masahiko Ogura, Toshiharu Makino, Tsubasa Matsumoto, Kimiyoshi Ichikawa, Kan Hayashi, Takao Inokuma, Satoshi Yamasaki …

Carbon 235 2025年3月10日
Control of impurity incorporation into CVD diamond synthesized with tert-butylphosphine for quantum applications

Riku Kawase, Hiroyuki Kawashima, Hiromitsu Kato, Norio Tokuda, Satoshi Yamasaki, Masahiko Ogura, Toshiharu Makino, Naoya Morioka, Norikazu Mizuochi

Applied Physics Letters 126(7) 2025年2月17日
Impact of water vapor annealing treatments on Al2O3/diamond interface

Xufang Zhang, Tsubasa Matsumoto, Mitsuru Sometani, Masahiko Ogura, Hiromitsu Kato, Toshiharu Makino, Daisuke Takeuchi, Takao Inokuma, Satoshi Yamasaki, Norio Tokuda

AIP Advances 2024年3月1日査読有り
Dopant-assisted stabilization of negatively charged single nitrogen-vacancy centers in phosphorus-doped diamond at low temperatures

Jianpei Geng, Tetyana Shalomayeva, Mariia Gryzlova, Amlan Mukherjee, Santo Santonocito, Dzhavid Dzhavadzade, Durga Bhaktavatsala Rao Dasari, Hiromitsu Kato, Rainer Stöhr, Andrej Denisenko …

npj Quantum Information 9(1) 2023年10月27日
Charge states of nitrogen-vacancy centers in Fermi level controlled diamond n-i-n junctions

M. Shimizu, T. Makino, H. Kato, M. Fujiwara, M. Ogura, N. Mizuochi, M. Hatano

Journal of Applied Physics 133(21) 2023年6月5日
Charge stabilization of shallow nitrogen-vacancy centers using graphene/diamond junctions

Moriyoshi Haruyama, Yuki Okigawa, Mitsuhiro Okada, Hideaki Nakajima, Toshiya Okazaki, Hiromitsu Kato, Toshiharu Makino, Takatoshi Yamada

Applied Physics Letters 122(14) 141601-141601 2023年4月3日
Electroluminescence of negatively charged single NV centers in diamond

M. Haruyama, H. Kato, M. Ogura, Y. Kato, D. Takeuchi, S. Yamasaki, T. Iwasaki, H. Morishita, M. Fujiwara, N. Mizuochi …

Applied Physics Letters 122(7) 072101-072101 2023年2月13日
n-type diamond synthesized with tert-butylphosphine for long spin coherence times of perfectly aligned NV centers

Riku Kawase, Hiroyuki Kawashima, Hiromitsu Kato, Norio Tokuda, Satoshi Yamasaki, Masahiko Ogura, Toshiharu Makino, Norikazu Mizuochi

Journal of Applied Physics 132(17) 174504-174504 2022年11月7日
Ultra-high dynamic range quantum measurement retaining its sensitivity

E. D. Herbschleb, H. Kato, T. Makino, S. Yamasaki, N. Mizuochi

Nature Communications 12(1) 2021年12月
Distinguishing dislocation densities in intrinsic layers of pin diamond diodes using two photon-excited photoluminescence imaging

Tatsuya Honbu, Daisuke Takeuchi, Kimiyoshi Ichikawa, Shinya Ohmagari, Tokuyuki Teraji, Masahiko Ogura, Hiromitsu Kato, Toshiharu Makino, Ichiro Shoji

Diamond and Related Materials 117 108463-108463 2021年8月
Photoelectrical detection of nitrogen-vacancy centers by utilizing diamond lateral p–i–n diodes

T. Murooka, M. Shiigai, Y. Hironaka, T. Tsuji, B. Yang, T. M. Hoang, K. Suda, K. Mizuno, H. Kato, T. Makino …

Applied Physics Letters 118(25) 253502-253502 2021年6月21日
Diamond microfabrication by imprinting with nickel mold under high temperature

T. Tabakoya, M. Nagai, K. Sakauchi, Y. Nakamura, K. Kobayashi, H. Kato, Y. Kato, M. Ogura, D. Takeuchi, T. Makino …

Diamond and Related Materials 114 2021年4月
Inversion channel MOSFET on heteroepitaxially grown free-standing diamond

Xufang Zhang, Tsubasa Matsumoto, Yuta Nakano, Hitoshi Noguchi, Hiromitsu Kato, Toshiharu Makino, Daisuke Takeuchi, Masahiko Ogura, Satoshi Yamasaki, Christoph E. Nebel …

Carbon 175 615-619 2021年4月
Carrier transport mechanism of diamond p(+)-n junction at low temperature using Schottky-pn junction structure

Ayumu Karasawa, Toshiharu Makino, Aboulaye Traore, Hiromitsu Kato, Masahiko Ogura, Yukako Kato, Daisuke Takeuchi, Satoshi Yamasaki, Takeaki Sakurai

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 60(3) 2021年3月
Room Temperature Electrically Detected Nuclear Spin Coherence of NV Centres in Diamond

H. Morishita, S. Kobayashi, M. Fujiwara, H. Kato, T. Makino, S. Yamasaki, N. Mizuochi

Scientific Reports 10(1) 2020年12月
Vector Electrometry in a Wide-Gap-Semiconductor Device Using a Spin-Ensemble Quantum Sensor

Bang Yang, Takuya Murooka, Kosuke Mizuno, Kwangsoo Kim, Hiromitsu Kato, Toshiharu Makino, Masahiko Ogura, Satoshi Yamasaki, Marek E. Schmidt, Hiroshi Mizuta …

Physical Review Applied 14(4) 2020年10月27日
Vector Electrometry in a Wide-Gap-Semiconductor Device Using a Spin-Ensemble Quantum Sensor

Bang Yang, Takuya Murooka, Kosuke Mizuno, Kwangsoo Kim, Hiromitsu Kato, Toshiharu Makino, Masahiko Ogura, Satoshi Yamasaki, Marek E. Schmidt, Hiroshi Mizuta …

PHYSICAL REVIEW APPLIED 14(4) 2020年10月
Temperature dependence of diamond MOSFET transport properties

Aboulaye Traore, Hiromitsu Kato, Toshiharu Makino, Tsubasa Matsumoto, Norio Tokuda, Masahiko Ogura, Yukako Kato, Daisuke Takeuchi, Satoshi Yamasaki

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 59 2020年4月
Characterization of Schottky Barrier Diodes on Heteroepitaxial Diamond on 3C-SiC/Si Substrates

Takuya Murooka, Junya Yaita, Toshiharu Makino, Masahiko Ogura, Hiromitsu Kato, Satoshi Yamasaki, Meralys Natal, Stephen E. Saddow, Takayuki Iwasaki, Mutsuko Hatano

IEEE Transactions on Electron Devices 67(1) 212-216 2020年1月
Charge state control by band engineering

Toshiharu Makino, Hiromitsu Kato, Maki Shimizu, Mutsuko Hatano, Norikazu Mizuochi

Diamond for Quantum Applications Part 1 137-159 2020年査読有り

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MISC

152

ホウ素濃度の異なるp型基板上に作製したダイヤモンドpinダイオードのi層の結晶性の比較

竹内大輔, 竹内大輔, 本部達也, 本部達也, 市川公善, 大曲新矢, 寺地徳之, 小倉政彦, 加藤宙光, 牧野俊晴 …

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 82nd 2021年
ダイヤモンドのデバイスプロセス開発と接合デバイス応用 (ダイヤモンドパワーデバイス特集)

牧野俊晴, 加藤有香子, 梅沢仁, Traore Aboulaye, 小倉政彦, 加藤宙光, 竹内大輔, 山崎聡

New diamond = ニューダイヤモンド 36(2) 26-31 2020年4月
高温高圧処理したPイオン注入ダイヤモンドの特性

東浦健人, 福田玲, 石川史太郎, 石川史太郎, 新名亨, 大藤弘明, 入舩徹男, 加藤宙光, 小倉政彦, 牧野俊晴 …

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 81st 2020年
デバイス構造を用いたダイヤモンド中NVセンタの光電流検出

椎貝雅文, 室岡拓也, YANG B., 牧野俊晴, 加藤宙光, 小倉政彦, 山崎聡, 波多野睦子, 岩崎孝之

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 67th 2020年
ダイヤモンドSchottky-pnダイオードの低温における電気特性のn層膜厚依存性

唐澤歩睦, 牧野俊晴, 牧野俊晴, TRAORE A., 加藤宙光, 小倉政彦, 加藤有香子, 竹内大輔, 山崎聡, 山崎聡 …

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 67th 2020年
ダイヤモンド横型pn接合ダイオードを用いたGeVセンターの電気励起

須田弘平, 室岡拓也, YANG B., WANG P., 加藤宙光, 牧野俊晴, 小倉政彦, 山崎聡, 谷口尚, 波多野睦子 …

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 67th 2020年
EBICを用いたダイヤモンドpn⁺接合におけるリーク電流の評価

室岡拓也, 牧野俊晴, 小倉政彦, 加藤宙光, 山崎聡, 岩崎孝之, PERNOT Julien, 波多野睦子

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 66th 2019年
反転層チャネルダイヤモンドMOSFETの実証

松本翼, 加藤宙光, 小山和博, 牧野俊晴, 小倉政彦, 竹内大輔, 猪熊孝夫, 山崎聡, 山崎聡, 徳田規夫 …

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 66th 2019年
水素プラズマ処理導入によるダイヤモンド(111)MOS構造の界面準位密度低減とMOSFETのチャネル移動度向上

桜井海匡, 松本翼, 長井雅嗣, 加藤宙光, 牧野俊晴, 小倉政彦, 竹内大輔, 山崎聡, 山崎聡, 猪熊孝夫 …

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 80th 2019年
半導体ダイヤモンドにおける不純物ドーピング制御ならびにデバイス化技術の進展

加藤宙光, 小倉政彦, 牧野俊晴, 竹内大輔, 山崎聡

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 80th 2019年
高温水素雰囲気下におけるニッケルインプリント技術を用いたダイヤモンド表面パターニング

莨谷平, 莨谷平, 坂内和斗, 長井雅嗣, 中村勇斗, 松本翼, 猪熊孝夫, 徳田規夫, 徳田規夫, 加藤宙光 …

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 80th 2019年
窒素ドープボディを用いた反転層ダイヤモンドMOSFETの特性

松本翼, 桜井海匡, 山河智哉, 加藤宙光, 牧野俊晴, 小倉政彦, 竹内大輔, 山崎聡, 山崎聡, 猪熊孝夫 …

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 80th 2019年
低温におけるダイヤモンドショットキーpnダイオードの電気特性

唐澤歩睦, 牧野俊晴, 牧野俊晴, 加藤宙光, 小倉政彦, 加藤有香子, 竹内大輔, 山崎聡, 山崎聡, 櫻井岳暁

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 80th 2019年
依頼講演反転層チャネルダイヤモンドMOSFET : ウェットアニール処理による高品質ダイヤモンドMOS界面の形成 (シリコン材料・デバイス)

松本翼, 加藤宙光, 牧野俊晴, 小倉政彦, 竹内大輔, 猪熊孝夫, 山崎聡, 徳田規夫

電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 118(110) 19-22 2018年6月25日
NVセンターを用いたパワーデバイスの量子イメージング計測

KIM K., 岩崎孝之, 水野皓介, 牧野俊晴, 加藤宙光, 小倉政彦, 竹内大輔, 山崎聡, 波多野睦子

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 65th 2018年
3C-SiC/Si基板上に形成したヘテロエピタキシャルダイヤモンドSBDの電気特性

室岡拓也, 矢板潤也, 岩崎孝之, 牧野俊晴, 小倉政彦, 加藤宙光, 山崎聡, NATAL Meralys, SADDOW Stephen E., 波多野睦子

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 65th 2018年
ダイヤモンドSchottky-pnダイオードの高電流密度領域における電気特性

小澤直人, 小澤直人, 牧野俊晴, 牧野俊晴, 加藤宙光, 小倉政彦, 竹内大輔, 大串秀世, 山崎聡, 山崎聡

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 65th 2018年
反転型ダイヤモンドMOSFETのデバイスシミュレーション

宮崎久生, 酒井忠司, 松本翼, 松本翼, 加藤宙光, 牧野俊晴, 小倉政彦, 徳田規夫, 徳田規夫, 山崎聡

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 65th 2018年
反転層チャネルダイヤモンドMOSFET~ウェットアニール処理による高品質ダイヤモンドMOS界面の形成~

松本翼, 加藤宙光, 牧野俊晴, 小倉政彦, 竹内大輔, 猪熊孝夫, 山崎聡, 徳田規夫

電子情報通信学会技術研究報告 118(110(SDM2018 16-26)) 2018年
ダイヤモンド-Al₂O₃界面のバンドアライメント分析

宮崎久生, 酒井忠司, 木村重哉, 松本翼, 松本翼, 長井雅嗣, 徳田規夫, 徳田規夫, 加藤宙光, 加藤有香子 …

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 79th 2018年

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共同研究・競争的資金等の研究課題

低損失縦型ダイヤモンドパワーMOSFET

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 2017年4月 - 2020年3月

徳田規夫, 加藤宙光, 大曲新矢

加藤宙光

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経歴

論文

MISC

共同研究・競争的資金等の研究課題

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