ISHIMOTO Jun

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Name
ISHIMOTO Jun
E-mail
ishimotoalba.ifs.tohoku.ac.jp
URL
http://db.tohoku.ac.jp/whois/e_detail/d721067af9ede4903a33a3d11c9d462a.html
Affiliation
Tohoku University
Section
Institute of Fluid Science Innovative Energy Research Center (IER) Multiphase Flow Energy Laboratory
Job title
Professor
Degree
博士(工学)(Tohoku University)

Research Areas

 
 

Academic & Professional Experience

 
Apr 2005
   
 
Associate Professor, Institute of Fluid Science, Tohoku University
 
Apr 1999
 - 
Mar 2005
助教授, 弘前大学理工学部知能機械システム工学科
 
May 1996
 - 
Mar 1999
助手, 東北大学流体科学研究所
 
Apr 1995
 - 
Apr 1996
日本学術振興会特別研究員(PD)
 

Education

 
 
 - 
Mar 1995
機械工学第二専攻, Graduate School, Division of Engineering, Tohoku University
 

Committee Memberships

 
Aug 2010
   
 
日本混相流学会 研究企画委員会 サステナブル異分野融合型混相流 分科会  主査
 
Apr 2010
   
 
日本機械学会 第88期(2010年度)流体工学部門運営委員  運営委員
 
Apr 2008
   
 
日本機械学会・宇宙工学部門運営委員  第3企画委員会委員長
 
Apr 2014
 - 
Mar 2016
日本機械学会  交通・物流部門代議員
 
Apr 2014
 - 
Mar 2015
日本混相流学会  評議員
 

Awards & Honors

 
Jul 2010
Cryogenics Best Paper Award 2009, Elsevier B.V.
 
流体科学研究所 石本淳 准教授は,「二流体ノズルを用いた極低温微細固体窒素粒子生成法に関する数値解析的研究」により,Cryogenics Best Paper Award 2009受賞し,2010年7月22日開催のICEC 23- ICMC 2010 (第23回国際低温工学-2010国際低温材料会議,ブロツワフ工科大学,ポーランド) にて表彰されました.
本賞は低温工学における最も権威ある国際誌"Cryogenics" (Elsevier B.V.) において1年間に投稿された全論文の中か...
Oct 2010
日本機械学会流体工学部門フロンティア表彰, 日本機械学会
 
Jul 2009
マイクロキャビテーションを伴うガソリンインジェクター乱流噴霧微粒化プロセスに関する融合可視化シミュレーション, 可視化情報学会第20期映像賞・フラッシュオブザイヤー, (社) 可視化情報学会
 
Aug 2008
極低温スラッシュ流体を利用した混相冷却法の開発, 日本混相流学会賞「技術賞」, 日本混相流学会
Winner: 石本淳,大平勝秀
 
流体科学研究所 石本淳 准教授・大平勝秀 教授は,「極低温スラッシュ流体を利用した混相冷却法の開発」により,2007年度 日本混相流学会賞「技術賞」を受賞し,2008年8月9日開催の日本混相流学会総会(会津大学)にて表彰されました.本受賞は,「極低温マイクロスラッシュ粒子の連続生成技術」と「スラッシュ用密度計(固相率の測定)・流量計」の開発に成功し,混相流分野の技術的進展に格段の貢献をなした業績が評価されたものです.
受賞対象である極低温スラッシュ冷却システムの実用化により,高温超伝導(H...
Jul 2003
多流体モデルを用いた液体ヘリウム管内二相流の数値解析, 日本混相流学会論文賞, 日本混相流学会
Winner: 石本淳,上條謙二郎,尾池守
 

Published Papers

 
Coupled particle and Euler method for leaked hydrogen-air mixing with crack propagation of pressure vessel
Jun Ishimoto, Toshinori Sato and Alain Combescure
Proceedings of the 8th European-Japanese Two-Phase Flow Group Meeting, The Watson Hotel in Manhattan, 22nd – 26th, April, 2018, New York, USA. [in USB memory]      Apr 2018   [Refereed]
Eitaro Koya and Masahiko Nakagawa and Shinya Kitagawa and Jun Ishimoto and Yoshikatsu Nakano and Naoya Ochiai
SAE Technical Paper      2018   [Refereed]
Eitaro Koya and Masahiko Nakagawa and Shinya Kitagawa and Jun Ishimoto and Yoshikatsu Nakano and Naoya Ochiai
SAE Technical Paper      2018   [Refereed]
Przemysław Smakulski, Jun Ishimoto, and Sławomir Pietrowicz
MATEC Web of Conferences   240(05028)    2018   [Refereed]
Jun Ishimoto, Toshinori Sato, Alain Combescure
International Journal of Hydrogen Energy   42(15) 10656-10682   Apr 2017   [Refereed]
Highlights
• Hydrogen leakage accompany with tank wall crack propagation was newly analyzed.
• Coupled particle and Eulerian methods has been developed for hydrogen safety problems.
• Peridynamics model was verified as effective method for hydroge...

Books etc

 
Nano-Mega Scale Flow Dynamics in Complex Systems (Edited by S. Maruyama and H. Nishiyama), The 21st Century COE Program International COE of Flow Dynamics Lecture Series
Hideya Nishiyama, Michio Tokuyama, Takehiko Sato, Toshiaki Ikohagi, Yasuaki Kohama and Jun Ishimoto (Part:Joint Work)
Tohoku University Press.   Nov 2007   ISBN:978-4-86163-081-1

Conference Activities & Talks

 
Coupled computing of cryogenic fine solid particle production and its impingement with deformable behavior
Nobuhiro Asanuma (GSIS, Tohoku University), Jun Ishimoto (IFS, Tohoku University), Naoya Ochiai (IFS, Tohoku University)
ELyT Workshop 2019, On-Campus Workshop   9 Mar 2019   
Advanced computational study for high-pressure spray and atomization phenomena
ISHIMOTO Jun
Australia-Japan Fluid Dynamics Workshop   31 Jan 2019   
Coupled FSI computing for resilient energy systems and disaster science
ISHIMOTO Jun
2nd Workshop Lyon Center (Organized with ELyT Global and ELyTMaX, with INSA Lyon and IFS, Tohoku University) November 20th, 2018, Ecole Centrale de Lyon, France   20 Nov 2018   
Numerical research of solidification dynamics with anisotropy and thermal fluctuations
Przemysław Smakulski, Jun Ishimoto, and Sławomir Pietrowicz
XI-th International Conference on Computational Heat, Mass and Momentum Transfer (ICCHMT 2018), May 21st– 24th, Galaxy Hotel, Kraków, Ploland.   21 May 2018   
Coupled particle and Euler method for leaked hydrogen-air mixing with crack propagation of pressure vessel
Jun Ishimoto, Toshinori Sato and Alain Combescure
8th European-Japanese Two-Phase Flow Group Meeting, The Watson Hotel in Manhattan, 22nd – 26th, April, 2018, New York, USA.   22 Apr 2018   
極低温マイクロ・ナノ固体窒素噴霧を用いたレジストはく離・洗浄特性に関する基礎研究
第73回応用物理学会学術講演会   11 Sep 2012   
シンポジウム
界面ナノ電子化学:産業界と学術界との界面融合へ(界面ナノ電子化学研究会企画) [9/11日 愛媛大学]
高密度水素貯蔵に関する安全性シミュレーション
低温工学・超伝導学会 第5回冷凍部会(公開)例会/環境・安全委員会,2014年12月17日,(川崎重工業 新東京本社,港区)   17 Dec 2014   
Supercomputing of tsunami damage mitigation by offshore mega floating structures
International Innovation Workshop on Tsunami, Snow Avalanche and Flash Flood Energy Dissipation, Oct. 20-21, 2014, Chamonix, France   21 Oct 2014   
Researches on a Sensing-based Dynamic Forced Ventilation Control of Leaking Hydrogen
11th International Conference on Flow Dynamics (ICFD2014), Oct. 8-10, 2014, Sendai International Center, Sendai, Japan.   Oct 2014   
Numerical Study of Flotsam Mixed Tsunami and Tsunami Scale Modeling
11th International Conference on Flow Dynamics (ICFD2014), Oct. 8-10, 2014, Sendai International Center, Sendai, Japan.   Oct 2014   
Numerical Prediction of Compressible Vapor Flow with LDI Erosion
11th International Conference on Flow Dynamics (ICFD2014), Oct. 8-10, 2014, Sendai International Center, Sendai, Japan.   Oct 2014   
Dynamic Simulation of Snowblower in Consideration of Snow Characteristic
The SecondProceedings of the International Symposium on Innovative Energy Research III, Multiphase Energy Science and Risk Mitigation   Oct 2014   
Development of Thermomechanical Resist Removal-Cleaning Technology using Cryogenic Micro-Solid Nitrogen Spray
11th International Conference on Flow Dynamics (ICFD2014), Oct. 8-10, 2014, Sendai International Center, Sendai, Japan.   Oct 2014   
先端産業における混相流動のスーパーコンピューティングと高度化
日本機械学会 産業界におけるCFD利用の高度化に関する研究分科会,2014年9月26日, (東京理科大学・神楽坂キャンパス, 新宿区)   26 Sep 2014   
一成分極低温マイクロ・ナノ固体窒素スプレー利用型ナノデバイス洗浄システムの開発
STARCワークショップ2014,2014年9月3日,新横浜国際ホテル(横浜市)   3 Sep 2014   
先端混相流に関する融合型スーパーコンピューティング
第4回DADiSP利用技術研究会,2014年8月1日, (ベルサール九段,千代田区)   1 Aug 2014   
粒子法を用いた雪の特性モデリングと挙動シミュレーション 第2 報
混相流学会年会講演会2014 オーガナイズドセッション(OS-6 サステナブル異分野融合型混相流),2014年 7月28 -30日,道民センター「かでる2・7」(札幌市)   28 Jul 2014   
固相変化を伴うラバルノズル内極低温混相流動と冷却熱伝達特性に関するスーパーコンピューティング
混相流学会年会講演会2014 オーガナイズドセッション(OS-6 サステナブル異分野融合型混相流),2014年 7月28 -30日,道民センター「かでる2・7」(札幌市)   28 Jul 2014   
リアルタイムセンシングに基づく漏洩水素の強制ベントにおける上限排出量の動的調節
混相流学会年会講演会2014 オーガナイズドセッション(OS-6 サステナブル異分野融合型混相流),2014年 7月28 -30日,道民センター「かでる2・7」(札幌市)   28 Jul 2014   
混相流動のスーパーコンピューティングと先端産業応用
日立研究所 技術研究会,2014年7月1日(日立研究所機械研究センター,ひたちなか市)   1 Jul 2014   
Ultra-High Heat Flux Cooling Characteristics of Cryogenic Micro-Solid Nitrogen Particles and Its Application to Semiconductor Wafer Cleaning Technology
25th International Cryogenic Engineering Conference and the International Cryogenic Materials Conference in 2014, ICEC 25–ICMC 2014, July 7-11, 2014, University of Twente, Enschede, The Netherlands.   Jul 2014   
Multiphase High Density Hydrogen Energy and its Risk Assessment
The 20th World Hydrogen Energy Conference 2014, June 15-20, 2014, Kimdaejung Convention Center,Gwangju Metropolitan City, Korea.   Jun 2014   
Coupled Supercomputing of Fluid and Structure Interaction Caused by Flotsam Mixed Tsunami
1st International Conference on Computational Engineering and Science for Safety and Environmental Problems (COMPSAFE2014), Sendai International Center, 13-16 April 2014 in Sendai, Japan.   Apr 2014   
Multiscale coupled computing of multiphase fluid-structure interaction
2nd Core-to-Core Workshop ”Japan-China Joint Workshop on Bio, Material and Flow Dynamics”   27 Feb 2014   
Multiscale Coupled Supercomputing of Multiphase Fluid-Material Interaction
ELyT Workshop 2014 in Frejus, France, February 19 – 21, 2014   20 Feb 2014   
Multiscale coupled computing of multiphase fluid-structure interaction
2nd Core-to-Core Workshop ”Japan-China Joint Workshop on Bio, Material and Flow Dynamics, Feb. 27, 2014, IFS, Tohoku University, Sendai, Japan   Feb 2014   
Thermomechanical Resist Removal‐Cleaning Technology Using Cryogenic Micro‐Nano Solid Nitrogen Spray
Center for High-rate Nanomanufacturing Fall Seminar Series, November 16th , 2012, College of Engineering, Northeastern University, Boston, USA   16 Nov 2012   
Super Computational Study of High-Speed Droplet-Vapor Flow and LDI Erosion
12th International Symposium on Advanced Fluid Information and Transdisciplinary Fluid Integration, AFI/TFI-2012, Sendai, Miyagi, Japan, Nov. 19-21   Nov 2012   
Thermomechanical Nano Device Resist Removal-Cleaning Technology by Using Cryogenic Spray Flow of Solid Nitrogen
12th International Symposium on Advanced Fluid Information and Transdisciplinary Fluid Integration, AFI/TFI-2012, Sendai, Miyagi, Japan, Nov. 19-21   Nov 2012   
Integrated Research Collaboration for Frontier Science of Next Generation Reactive Fluid
12th International Symposium on Advanced Fluid Information and Transdisciplinary Fluid Integration, AFI/TFI-2012, Sendai, Miyagi, Japan, Nov. 19-21   Nov 2012   
Numerical Study of Influence of Initial Standoff Distance on Impulsive Pressure Induced by Single Bubble Collapse near Wall Boundary (Integration to the Next-generation Megasonic Cavitation Cleaning Technology)
12th International Symposium on Advanced Fluid Information and Transdisciplinary Fluid Integration, AFI/TFI-2012, Sendai, Miyagi, Japan, Nov. 19-21   Nov 2012   
Innovative Development of Frontier Multiphase Flow Systems by Reality Coupled Computation
12th International Symposium on Advanced Fluid Information and Transdisciplinary Fluid Integration, AFI/TFI-2012, Sendai, Miyagi, Japan, Nov. 19-21   Nov 2012   
Numerical Prediction of Cavitation Erosion Using a Coupled Analysis of Cavitating Flow Field and Bubbles
12th International Symposium on Advanced Fluid Information and Transdisciplinary Fluid Integration, AFI/TFI-2012, Sendai, Miyagi, Japan, Nov. 19-21   Nov 2012   
Supercomputing approach of flotsam mixed tsunami in narrow region
International Innovation Workshop on Off Shore Tsunami Energy Dissipation and Peak Height Alleviation, September 10-12, 2012, Tohoku University, Sendai, Japan   10 Sep 2012   
微細固体窒素スプレーを用いたウエハレジストはく離-洗浄特性に関する研究
日本混相流学会年会講演会2012(東京大学 柏キャンパス)   Aug 2012   
ULTRA-COOLING HEAT TRANSFER CHARACTERISTICS USING CRYOGENIC MICRO-SOLID NITROGEN SPRAY
ASME 2012 Summer Heat Transfer Conference, July 8-12, 2012, Rio Grande, Puerto Rico, USA   Jul 2012   
Innovative Nano-Device Cleaning Technology Using Cryogenic Spray Flow of Micro-Solid Nitrogen
Technical Congress of Progress and Innovation for Smart Materials and Related Technology (PI-SMART), April 24 2012, Hirosaki, Japan   Apr 2012   
New technology for physical photoresist removal-cleaning method using cryogenic micro-solid nitrogen spray
Annual Workshop of ELyT Laboratory on March 12 - 14, 2012 Presqu’ile de Giens, France   14 Mar 2012   
Thermomechanical Resist Removal-Cleaning Technology Using Cryogenic Micro-Solid Nitrogen Spray
第14回韓国洗浄技術協議会(漢陽大学ERICAキャンパス)   24 Nov 2011   
Integrated Experimental and Numerical Study of Thermomechanical Resist Removal-Cleaning Performance Using Cryogenic Micro-Solid Nitrogen Spray
220th ECS Meeting and Electrochemical Energy Summit   9 Oct 2011   
「OpenFOAMによる混相流体解析手法の新展開」
異業種交流会 「混相流のための OpenFOAM セミナー」   11 Jan 2011   
主催: 日本鉄鋼協会 精錬反応プロセスにおける混相流・多重スケール解析技術の開発研究会
協賛: 日本混相流学会 混相流技術リエゾン専門委員会
「極低温マイクロ・ナノソリッドスプレー利用型半導体洗浄システムの開発」 次世代技術パビリオンの出展社によるプレゼンテーション
SEMICON 2010   1 Dec 2010   
The Effect of Micro-Cavitation on Interfacial Phenomena and Vortex Structure of Atomizing Flow in Gasoline Injector Nozzle
10th International Symposium on Advanced Fluid Information and Transdisciplinary Fluid Integration, AFI/TFI-2010   1 Nov 2010   
Integrated Super Computational Prediction of Liquid Droplet Impingement Erosion
The Joint International Conference of the 7th Supercomputing in Nuclear Application and the 3rd Monte Carlo (SNA + MC2010)   17 Oct 2010   
Thermomechanical Resist Removal-Cleaning System Using Cryogenic Micro-Slush Jet
The Symposium on Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces (UCPSS),   20 Sep 2010   
Integrated super computational analysis of atomization process of magnetic fluid jet
The 12th International conference on Magnetic Fluids   1 Aug 2010   
マイクロキャビテーションを伴うガソリンインジェクター乱流噴霧微粒化プロセスに関する融合計算
東京大学ロケットエンジンモデリングラボラトリー 第3回ワークショップ「微粒化現象解明へのアプローチ」   20 Nov 2009   
二流体ノズルによるマイクロスラッシュ粒子生成の融合計算
日本機械学会 2009年度年次大会   13 Sep 2009   
マイクロキャビテーションを伴うインジェクター噴霧微粒化の融合CFD
石本 淳(東北大),佐藤 史教(ケーヒン),佐藤 岳
キャビテーションに関するシンポジウム (第14回)   19 Mar 2009   
液体水素ピンホール漏洩ジェットの微粒化に関する融合CFD予測
平成19年度 第3回 電気・水素複合エネルギーシステム研究会   11 Jan 2008   

Research Grants & Projects

 
マイクロ・ナノ固体窒素噴霧利用型半導体洗浄システムの開発
Project Year: Apr 2007   
Supercomputing and Scale Modeling the Effect of Flotsam mixed Tsunami: Implication to Tsunami generated by The 2011 Great East Coast Earthquake
The Other Research Programs
Project Year: Jan 2013 - Today
マイクロキャビテーションを伴う高速液体噴霧微粒化に関する一体型シミュレーション技術の開発と各種ノズル融合設計手法の確立
Project Year: Apr 2005   
液体水素ピンホール漏えいジェット流の微粒化過程に関する融合数値予測
Cooperative Research
Project Year: Apr 2007   
先端機能性流体混相流の活用による次世代マイクロスケール発電システムに関する融合研究
Project Year: Apr 2005   

Patents

 
特許4961551 : 極低温マイクロスラッシュ生成システム
石本 淳
5419000 : 極低温マイクロスラッシュ超高熱流束冷却システム
石本 淳
5494169 : 換気システムおよび換気制御法
松浦一雄・中野政身・石本淳

Social Contribution

 
半導体洗浄,人体に害無く -東北大が新技術 固体窒素を利用-
[TV or radio appearance, Contribution]  日経産業新聞  7 Oct 2011
東北大学流体科学研究所の石本淳准教授と寒川誠二教授らの研究チームは,半導体素子の製造に欠かせない洗浄工程で有害物質を不要にできる新技術を開発した.
現在のプラズマ照射と有害な薬剤を使う洗浄の2工程を,固体窒素の微粒子を吹き付ける1工程に置き換える.本技術は洗浄プロセスにおけるプラズマ照射による配線ダメージを回避し,特に酸素ラジカルによりダメージを受けやすいデバイスに対して有効で,環境調和型のエコ洗浄技術として注目されている.
開発したのは大規模集積回路(LSI)製造工程に組み込む洗浄技術....
原発配管の劣化箇所予測 新システムで画像化
[TV or radio appearance, Contribution]  日経産業新聞  21 Jun 2011
東北大学の石本淳准教授らは東北電力と共同で、原子力発電所の配管劣化を画像化できるコンピューターシミュレーション(模擬実験)システムを開発した。配管が破断する事態を予測し、事故を未然に防ぐだけでなく、丈夫な配管の設計にも役立つ。東北電・女川原発の運転再開に合わせて利用を開始する。名称は「配管脆弱(ぜいじゃく)箇所予測システム」。東北大と東北電が3年かけて開発した。配管の形状、通過する水蒸気の流速、温度、圧力などのデータを入力すると、配管の厚さが減少する様子が表示される。 
特に配管の曲がった...
CAT-V 120ch Meet the professor -TOHOKU UNIVERSITY-
[TV or radio appearance, Contribution]  CAT-V  26 Nov 2010
http://www.cat-vnet.tv/category120/120_011/120_011_0001_a.html
粒径0.1mm以下の固体窒素粒子 連続生成技術を開発
[TV or radio appearance, Contribution]  日刊工業新聞  17 Jul 2007
東北大学流体科学研究所 石本 淳 准教授は高温超伝導ケーブル用新型冷媒として適用可能な,粒径0.1mm以下の固体窒素粒子(極低温マイクロスラッシュ)の連続生成技術開発に成功した.同技術は「断熱二流体ノズル方式」という従来にない新型粒子生成法を開発したものであり,過冷却液体窒素に極低温ヘリウムガスを高速衝突させることにより,大気圧開放雰囲気においても均一球形状の超小型固体窒素粒子を連続生成することが可能である.開発には流体科学研究所未来流体創造センターのスーパーコンピューターを用いた融合計算...
効率的な冷却システム実現 微細窒素粒子を生成
[TV or radio appearance, Contribution]  河北新報  20 Jun 2007
高温超伝導ケーブルの冷却に用いる微細な固体窒素粒子(極低温マイクロスラッシュ)の生成技術を開発した.本生成法による高機能性マイクロスラッシュ冷媒を用いることにより,従来型の液体窒素単相流を用いる冷却法よりも数倍程度の冷却能を有し,かつコンパクトな超電導ケーブル冷却システムを実現できることから、電力の需要増などに対応する次世代型ケーブルの実用化に大きく貢献するものと期待される.研究成果は2007年6月20日の河北新報に紹介された.

Others

 
Nov 2011   反応性混相流の活用によるナノデバイス物理洗浄
半導体製造工程においては電子基板のフォト製版工程で不要になったレジストを除去する必要があり、現在はコストが高く人体に極めて有害な薬液が大量に使用されている.半導体洗浄に関しては,アンモニア過酸化水素水を用いたWet洗浄プロセスが一般的であるが,最近の高集積デバイスに対してこのようなエッチングによるリフトオフを用いた洗浄法は適用限界に近づきつつある.これに対し,ドライ洗浄法の一例として低温エアロゾル洗浄がケミカルフリーな洗浄法として提案されているが,これは液体窒素の断熱膨張のみを利用した固体窒素粒子形成法を用いており,基本的なアッシングプロセスが終了した後の不要微小固体粒子を窒素粒子で吹き飛ばすのみで,生成固体窒素粒子の除去性能は弱く,レジストをはく離するまでの力学的性能を有せず,粒径や数密度の制御が不安定という難点を有する.そこで,これら従来型の化学反応プロセスに依存した洗浄法の有する欠点を解決しうる,新しい発想から成る新型アッシングレス・ドライ洗浄システムの開発が強く望まれている.
このような現状に対し,本研究により開発を目指しているマイクロ・ナノソリッドジェット利用型アッシングレスレジストはく離・除去システムは,マイクロ・ナノソリッド粒子の運動力学的高速衝突と極低温粒子流の有する超高熱流束特性を利用し,従来のケミカルWet洗浄の有する適用限界を打破しうる完全ケミカルフリー,純水フリータイプ,ドライ型レジストはく離・洗浄システムを開発しようとしている点に新規性・優位性を有する.
Oct 2011   マイクロ・ナノ固体粒子噴霧流を用いた半導体スーパー洗浄
マイクロ・ナノ固体粒子噴霧流を用いた半導体スーパー洗浄
Oct 2010   極低温マイクロ・ナノソリッドを用いたスーパードライ型半導体洗浄
過冷却液体窒素と極低温ヘリウムガス(寒剤)の高速衝突により連続生成される微細固体窒素粒子から成るマイクロ・ナノスラッシュ噴霧流の有する超高熱流束冷却特性とそれに伴うレジスト熱収縮効果を有効活用した新型半導体洗浄法に関する検討を行う.マイクロスラッシュ噴霧を高温加熱ウエハー面上のレジストに高速衝突させ,粒子の慣性力と噴霧の熱流体力学的効果,超高熱流束急冷によるレジスト熱収縮効果の相互作用により,アッシングプロセスを経ずにレジストをウエハー面上からはく離・除去,洗浄するという,レジスト除去・洗浄同時プロセス機構から成るドライ型アッシングレス洗浄システムを開発する.その結果,マイクロ・ナノスラッシュジェットの衝突による物理的レジストはく離と超高熱流束急冷による熱収縮の相乗効果を利用し,フォトレジストの一部をはく離することに成功した.加熱無しの場合,レジストはく離には至らないことから,レジストはく離に及ぼす熱収縮効果の影響はかなり大きいことを明らかにした.
Jan 2010   マイクロ・ナノスラッシュ噴霧による新型半導体洗浄方式の開発
マイクロ・ナノスラッシュ噴霧による新型半導体洗浄方式の開発
Nov 2009   スラッシュ超高熱流束プロセッサの研究
スラッシュ超高熱流束プロセッサの研究