特許権 極低温マイクロスラッシュ超高熱流束冷却システム 石本 淳 石本 淳 出願番号 特願2008-154898 出願日 2008年6月13日 公開番号 2009-302275 公開日 2009年12月24日 特許番号/登録番号 5419000 登録日 発行日 2013年11月29日