特許権 一成分極低温微細固体粒子連続生成装置、および、その一成分極低温微細固体粒子連続生成方法 石本 淳 出願番号 特願2013-125074 出願日 2013年6月13日 公開番号 特開2015-002221 公開日 2015年1月5日 特許番号/登録番号 特許第6153110号 登録日 発行日