基本情報

所属
東京工芸大学 工学部工学科 教授
学位
博士(工学)(東北大学)

J-GLOBAL ID
200901074851194721
researchmap会員ID
5000088089

外部リンク

東北大学工学部応用物理学科を卒業後、同・工学研究科応用物理学専攻の修士課程に進学し、極紫外線や軟X線を自在に操るミラー光学素子について研究しました。修了後には、株式会社ニコンに入社し、半導体露光装置用の照明光学系や検査光学系の研究開発を行いました。その後、東北大学多元物質研究所に赴任し、極紫外・軟X線顕微鏡の高分解能化や実用化を研究しました。
仙台での15年間の生活の後に東京工芸大に赴任しました。先端の装置開発では、設計(理論)と実装(実験)両面のブレークスルーがとても大切です。温泉に入りながら夕日に染まる東北の山々を見ているときに、ブレークスルーにつながる良いアイディアが浮かぶことがしばしばありました。休日は、家族でスキーやテニスをしたり、銭湯めぐりをしたりしています。

論文

  47

MISC

  87

共同研究・競争的資金等の研究課題

  11

産業財産権

  63