特許権
光束変換素子、照明光学装置、露光装置、および露光方法
株式会社ニコン
- 出願番号
- 特願2015-165058
- 出願日
- 2015年8月24日
- 公開番号
- 特開2016-026306
- 公開日
- 2016年2月12日
- 特許番号/登録番号
- 特許第6160666号
- 登録日
- 2017年6月23日
- 発行日
- 2017年6月23日
- リンク情報
- ID情報
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- J-Global ID : 201703018844705306