特許権
光束変換素子、照明光学装置、露光装置、および露光方法
株式会社ニコン
- 出願番号
- 特願2013-157044
- 出願日
- 2013年7月29日
- 公開番号
- 特開2014-003306
- 公開日
- 2014年1月9日
- 特許番号/登録番号
- 特許第5731591号
- 登録日
- 2015年4月17日
- 発行日
- 2015年4月17日
- リンク情報
- ID情報
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- J-Global ID : 201503072102297745